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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2026.5
- 수록면
- 30 - 35 (6page)
- DOI
- 10.9726/kspse.2026.30.2.030
이용수
초록· 키워드
초음파를 이용한 세정은 근래에 많이 이루어지고 있다. 본 연구에서는 특히 1 MHz급의 주파수를 이용하는 메가소닉 세정 장치를 개발하였다. 이 메가소닉은 쿼츠로 제작되었으며, 90개의 Φ20 μm인 미세 노즐이 포함되어 미세한 액적을 분사하여, 세정이 가능하게 된다. 이를 위해 유한요소해석을 이용하여 압전소자와 웨이브가이드를 해석하고 임피던스 값을 예측하였다. 그 결과, 예측한 임피던스의 최댓값은 압전소자의 경우, 998 kHz였으며, 측정한 값은 999 kHz로 0.1%의 오차로 잘 예측하였다. 또한 웨이브가이드의 경우, 이 값이 1,000 kHz였으며, 제작한 웨이브가이드의 측정값도 일치하였다. 이를 이용하여, 쿼츠 소재로 웨이브가이드를 제작하였으며, 피코초 (Pico Second) 레이저를 이용하여 노즐을 가공하였다. 이에 본 연구 결과를 활용하여 미세입자의 세정에 이용할 수 있을 것으로 판단된다.
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목차
- 초록
- Abstract
- 1. 서론
- 2. 메가소닉 장치
- 3. 실험 결과 및 고찰
- 4. 결론
- References
참고문헌
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