지원사업
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커뮤니티
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이용수1
2014
제 1장 서론 1제 2장 관련이론 22.1 플라즈마 기본이론 22.1.1 열 플라즈마 32.1.2 저온 플라즈마 42.2 아르곤 플라즈마 응고 62.3 임피던스의 측정 원리 82.3.1 임피던스 72.3.2 임피던스 계측법 11제 3장 실험 구성 163.1 연구 필요성 및 실험 목적 163.2 플라즈마 처리의 실시간 측정 장치 173.2.1 플라즈마 처리 전/후 캐패시턴스 측정 173.2.2 플라즈마 처리 시 캐패시턴스의 실시간 측정 19제 4장 실험 결과 244.1 거리, 유량에 따른 Capacitance 변화 244.1.1 거리에 따른 실시간 Capacitance 변화 244.1.2 유량에 따른 실시간 Capacitance 변화 264.1.3 실시간 Capacitance 변화를 이용한 플라즈마 밀도 계산 284.2 Liquid Sample 에 따른 Capacitance 변화 31제 5장 결론 33참고문헌 34
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