플라즈마를 이용한 박막 증착과 평가방법에 관한 연구 :

민관식

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자료유형: 학위논문

저자정보: 민관식 (군산대학교, 군산대학교 대학원)

지도교수: 차덕준

발행연도: 2013

저작권: 군산대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.

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진공 공정에서 진공 표면은 매우 중요하다. 진공 표면을 제어하기 위한 방법으로 박막의 증착에 대한 연구를 진행하였다. 플라즈마를 이용한 박막 제조 공정 중 스퍼터링과 플라즈마 전해산화에 대하여 연구하였으며, 각 공정별 박막의 특성을 평가하였다. 또한 박막의 특성 평가 방법에 대한 연구도 병행하였다.

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