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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학위논문
- 저자정보
- 지도교수
- 한승수
- 발행연도
- 2019
- 저작권
- 명지대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
이용수11
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예지보수는 장비의 상태를 지속적으로 모니터링 하여 유지보수시기를 예측함으로써 불필요한 유지보수 빈도를 낮추고 예기치 못한 고장으로 인해 중단 될 경우 발생하는 경제적 손실을 최소화하는 장비의 효율과 안정성을 높이는 기술이다. 특히 자동화 공장의 발전이 가속화 되면서 예지보수기술은 없어선 안 될 필수 요소 되었다. 반도체 산업에서 사용되는 웨이퍼이송로봇에 예지보수 기술을 적용하고 예지보수시스템에 적용한 DBSCAN 알고리즘 파라미터를 최적화 하였다. DBSCAN 알고리즘을 이용한 예지보수시스템을 설계하고 DBSCAN 알고리즘 파라미터를 최적화함으로써 언제 발생할지 모르는 장비의 고장에 대해 유연하고 신속한 대처가 가능하다. 가속도센서를 이용하여 웨이퍼이송로봇의 상태를 나타내는 데이터를 취득하고, 장비 운영 중에 발생하는 가상의 오류데이터 발생 정도를 기반으로 장비의 상태를 단계별로 정의하였다. 가속도센서로부터 취득 된 데이터는 FFT, 정규화의 전처리 과정을 거쳤고 DBSCAN 알고리즘을 이용하여 특정 주파수영역의 데이터를 클러스터링 하였다. 정상데이터의 특정 주파수 영역 FFT신호의 피크 발생 수준에 따라 정의 된 가상의 오류데이터가 포함된 데이터세트를 다시 클러스터링 하였다. 최종적으로 클러스터들의 중심값을 도출하고, 중심값의 변화 정도에 따라 장비의 오류 상태를 파악하여 유지 보수의 시기를 예측하였다. 또한 유지 보수의 시기를 더욱 정확하게 예측할 수 있도록 중심값을 도출하는 DBSCAN 파라미터를 실험계획법을 이용하여 최적화 하였다.
목차
그림목차 ⅰ표목차 ⅱ국문초록 ⅲ제 1 장 서론 1제 2 장 연구를 위한 배경제 1 절 고속 푸리에 변환(Fast Fourier Transform) 4제 2 절 정규화(Normalization) 4제 3 장 DBSCAN 알고리즘 5제 4 장 데이터 취득 및 실험 7제 5 장 실험계획법을 이용한 DBSCAN 파라미터 최적화 17제 6 장 결론 21참고문헌 22Abstract 23
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