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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학위논문
- 저자정보
- 지도교수
- 장경욱
- 발행연도
- 2020
- 저작권
- 가천대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
이용수1
이 논문의 연구 히스토리 (5)
2020
2014
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본 논문에서는 MWCNT/ZnO nanocomposite film을 이용한 가스센서를 제작하였다. 제작된 가스센서의 전극은 Au를 증착하였으며, 제작된 가스센서는 단일 film 가스센서인 MWCNT film 가스센서, ZnO film 가스센서들과 가스 검출 특성을 분석하였다. 가스센서에 사용될 유해가스로는 NOX를 사용하였으며, 농도 별 가스주입(8~80 [ppm])에 따른 검출 특성을 관찰하였다. 또한, MWCNT/ZnO nanocomposite film 가스센서의 검출 메커니즘을 분석하기 위하여 하소과정을 진행하였으며, 하소 공정 시 사진행된 온도는 450℃, 710℃ 로 진행하였다. 열 분해 과정을 진행한 MWCNT/ZnO nanocomposite film 가스 센서의 검출 가스 주입에 따른 특성 변화로는 하소 온도가 증가될수록 가스센서 표면의 불순물 제거 및 고온에 따른 산화아연의 상(phase) 변화로 인하여 검출 특성이 향상되는 것을 확인할 수 있었다. P-type semiconductor인 MWCNT와 N-type semiconductor인 ZnO film 간 계면 분석을 위하여 흡광도 분석 및 Touc plot 분석을 진행하였으며, Touc plot 분석을 통해 nanocomposite film 가스센서의 밴드갭 레벨이 단일 필름인 MWCNT film의 가스센서보다 낮아지는 것을 확인되었다. 또한, nanocomposite film의 구조적 분석을 위하여 SEM, Raman Spuctrum 이 진행되었으며, 가스센서의 가스 검출 메커니즘 분석을 통하여 가스센서의 특징들을 분석하였다.
목차
1. 서 론2. 관 계 이 론2. 1. 탄소나노튜브(Carbon Nanotube)의 구조2. 1. 1. 탄소나노튜브 채널2. 2. 탄소나노튜브의 합성 방법2. 2. 1. 촉매화학기상증착법2. 2. 2. 아크 방전법2. 2. 3. 레이저 증발법2. 2. 4. 화학기상증착법2. 3. 산화아연2. 4. 스퍼터링2. 5. 가스센서2. 5. 1. NOX 가스센서2. 5. 2. 탄소나노튜브 기반 가스센서2. 5. 3. 이종 접합 가스센서2. 6. Tauc-Plot3. 실 험 방 법3. 1. ZnO/MWCNT가스 센서 제작3. 2. 가스센서의 물성 측정3. 2. 1. MWCNT의 전기적 특성 측정3. 2. 2. 구조적 특성 측정3. 2. 3. 열처리에 따른 구조적 분석4. 실 험 결 과 및 고 찰4. 1. 가스 주업에 따른 가스 센서 검출 특성4. 2. MWCNT/ZnO hybrid film 가스센서의 검출 특성4. 2. 2. 챔버 온도 변화에 따른 가스 검출 특성4. 3. 이종접합 가스 센서의 특성 분석4. 3. 1. 가스센서의 Gas Detection Mechanism4. 3. 2. 계면 Mechanism 분석4. 3. 3. 이종접합 Film 센서의 재현성5. 결 론참 고 문 헌영 문 초 록
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