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이용수10
요약 i그림 목차 iiiI. 서 론 11. 연구의 배경 및 목적 1II. 이론적 고찰 71. 고체 산화물 연료전지 (SOFC) 72. 저온 구동형 직접 메탄 고체 산화물 연료전지 (LT DM ? SOFC) 103. 원자층 증착법 (ALD) 114. 플라즈마 원자층 증착법 (PEALD) 13III. 실험 장치 및 실험 방법 151. 실험 분류 152. 실험 방법 161) SOFC 셀 제작 162) PEALD를 이용한 Ru 박막 증착 183) 전기화학적 분석 204) 나노 형상 및 화학적 분석 22IV. 실험 결과 및 고찰 231. SEM & TEM 분석을 통한 표면 및 단면 분석 232. 전기 화학적 분석을 통한 LT DM ? SOFC의 성능 평가 273. SEM 분석을 통한 연료극 내구성 향상의 원인 파악 324. XPS 분석을 통한 탄소 침착 저항성 평가 345. 타 연구와의 성능 비교 36V. 결 론 38참고문헌 40영문초록 (Abstract) 45감사의 글 46
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