인문학
사회과학
자연과학
공학
의약학
농수해양학
예술체육학
복합학
지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학위논문
- 저자정보
- 지도교수
- 천채일
- 발행연도
- 2023
- 저작권
- 호서대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
이용수15
초록· 키워드
상세정보 수정요청해당 페이지 내 제목·저자·목차·페이지정보가 잘못된 경우 알려주세요!
압전 재료는 전기적인 에너지를 기계적인 에너지로 변환하는 정압전효과(Piezoelectric effect), 혹은 전기적인 에너지를 기계적인 에너지로 변환하는 역압전 효과(Inverse piezoelectric effect)를 나타내는 재료로, 위와 같은 효과를 활용해 액추에이터, 센서, 햅틱, 스피커, 초음파 진동자 등 다양한 응용 분야에서 활용되는 재료이다.
Micro Electro Mechanical System (MEMs) 기술의 발전으로 인해 압전 재료는 마이크로미터 크기의 액추에이터 혹은 센서로 활용 가능하여 의료를 비롯한 미세한 작업이 요구되는 분야에서 큰 성장 잠재력을 가지고 있다. 또한, 강유전체의 전기열량효과(Electrocaloric effect, ECE)는 MEMs 처럼 미세한 크기의 소자에서 발생하는 열을 조절하기 위한 소형 냉각 장치 등의 활용이 기대되고 있다. 전기열량효과(Electrocaloric effect, ECE)란 강유전체에서 전기를 인가하거나 제거하였을 때 강유전체 내부의 전기 쌍극자의 배열 엔트로피가 변화하여 이로 인해 재료의 온도가 변화하는 효과인데, 증기 압축 방식의 냉각 장치와 달리 부품의 소형화가 가능하며 높은 효율을 얻을 수 있다. 이처럼 다양한 활용처로 인해 압전 세라믹스 분야에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다.
그러나 현재 산업 분야에서 대표적으로 활용되는 Pb(Zr0.53Ti0.47)O3 (PZT)계 압전 재료는 60% 이상의 납(Pb)을 함유하고 있고 재료의 제조 및 폐기 과정에서 인체로의 유입이나 환경오염이 발생할 수 있다는 큰 문제를 가지고 있다. 더욱이 RoHS, WEEE 등의 환경 문제에 따른 규제가 심화 되고 있어 납을 포함하지 않는 무연 압전 세라믹스에 대한 연구의 필요성이 요구되고 있다. 이에 (Bi1/2,Na1/2)TiO3 (BNT)계 재료에 SrTiO3 (ST)를 첨가한 BNT-ST 세라믹스는 기존에 사용되던 PZT계 재료의 변형(Strain) 특성과 유사한 거대 변형 특성을 보이고 있어 액추에이터 분야에서 PZT계 재료를 대체할 수 있을 것으로 기대되는 유망한 재료이다.
한편 압전 액추에이터는 구동 전압을 낮추고 생산성을 확보하기 위해 얇은 압전 세라믹을 여러 층 쌓아 만드는 다층 세라믹 액추에이터(Multilayer Ceramic Actuators, MLCAs)의 형태가 많이 활용되고 있다. 다층 세라믹 구조는 전기열량효과를 활용한 고상 냉각 장치에 있어서도 박막의 특성상 고전압을 인가할 수 있고, 작은 부피로 인한 작은 열용량을 보완할 수 있는 장점을 가지고 있다. 그런데 MLCAs는 제조 공정에서 세라믹층과 내부의 전극 층이 동시에 소결되어야 하므로, 내부 전극으로 사용할 소재는 세라믹의 소결 온도에서도 견딜 수 있는 높은 녹는점을 가져야 한다. 이를 만족하는 전극 재료로는 Ag-Pd 합금 혹은 Pt 등이 있는데, 이는 귀금속 및 희소금속으로 고가로 대량생산에 적용하기에는 어려움이 있다. 이러한 문제를 해결하기 위해 소결조제를 사용하여 세라믹 소재의 소결 온도를 낮추어 더 값싼 가격대의 전극을 사용할 수 있도록 하는 방법이 제안되고 있다[46].
따라서 본 연구에서는 높은 변형 특성을 나타내는 BNT-ST 세라믹스를 이용하여, 저융점의 금속 전극을 활용할 수 있는 저온 소결을 목표로 연구하였다. CuO와 Na2CO3를 소결조제로 첨가량과 조성에 따른 치밀화 거동 및 미세조직의 변화를 관찰하였고, 소결조건에 따른 유전 및 압전 특성을 관찰하고 전기열량 효과에 대해 연구하였다.
Micro Electro Mechanical System (MEMs) 기술의 발전으로 인해 압전 재료는 마이크로미터 크기의 액추에이터 혹은 센서로 활용 가능하여 의료를 비롯한 미세한 작업이 요구되는 분야에서 큰 성장 잠재력을 가지고 있다. 또한, 강유전체의 전기열량효과(Electrocaloric effect, ECE)는 MEMs 처럼 미세한 크기의 소자에서 발생하는 열을 조절하기 위한 소형 냉각 장치 등의 활용이 기대되고 있다. 전기열량효과(Electrocaloric effect, ECE)란 강유전체에서 전기를 인가하거나 제거하였을 때 강유전체 내부의 전기 쌍극자의 배열 엔트로피가 변화하여 이로 인해 재료의 온도가 변화하는 효과인데, 증기 압축 방식의 냉각 장치와 달리 부품의 소형화가 가능하며 높은 효율을 얻을 수 있다. 이처럼 다양한 활용처로 인해 압전 세라믹스 분야에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다.
그러나 현재 산업 분야에서 대표적으로 활용되는 Pb(Zr0.53Ti0.47)O3 (PZT)계 압전 재료는 60% 이상의 납(Pb)을 함유하고 있고 재료의 제조 및 폐기 과정에서 인체로의 유입이나 환경오염이 발생할 수 있다는 큰 문제를 가지고 있다. 더욱이 RoHS, WEEE 등의 환경 문제에 따른 규제가 심화 되고 있어 납을 포함하지 않는 무연 압전 세라믹스에 대한 연구의 필요성이 요구되고 있다. 이에 (Bi1/2,Na1/2)TiO3 (BNT)계 재료에 SrTiO3 (ST)를 첨가한 BNT-ST 세라믹스는 기존에 사용되던 PZT계 재료의 변형(Strain) 특성과 유사한 거대 변형 특성을 보이고 있어 액추에이터 분야에서 PZT계 재료를 대체할 수 있을 것으로 기대되는 유망한 재료이다.
한편 압전 액추에이터는 구동 전압을 낮추고 생산성을 확보하기 위해 얇은 압전 세라믹을 여러 층 쌓아 만드는 다층 세라믹 액추에이터(Multilayer Ceramic Actuators, MLCAs)의 형태가 많이 활용되고 있다. 다층 세라믹 구조는 전기열량효과를 활용한 고상 냉각 장치에 있어서도 박막의 특성상 고전압을 인가할 수 있고, 작은 부피로 인한 작은 열용량을 보완할 수 있는 장점을 가지고 있다. 그런데 MLCAs는 제조 공정에서 세라믹층과 내부의 전극 층이 동시에 소결되어야 하므로, 내부 전극으로 사용할 소재는 세라믹의 소결 온도에서도 견딜 수 있는 높은 녹는점을 가져야 한다. 이를 만족하는 전극 재료로는 Ag-Pd 합금 혹은 Pt 등이 있는데, 이는 귀금속 및 희소금속으로 고가로 대량생산에 적용하기에는 어려움이 있다. 이러한 문제를 해결하기 위해 소결조제를 사용하여 세라믹 소재의 소결 온도를 낮추어 더 값싼 가격대의 전극을 사용할 수 있도록 하는 방법이 제안되고 있다[46].
따라서 본 연구에서는 높은 변형 특성을 나타내는 BNT-ST 세라믹스를 이용하여, 저융점의 금속 전극을 활용할 수 있는 저온 소결을 목표로 연구하였다. CuO와 Na2CO3를 소결조제로 첨가량과 조성에 따른 치밀화 거동 및 미세조직의 변화를 관찰하였고, 소결조건에 따른 유전 및 압전 특성을 관찰하고 전기열량 효과에 대해 연구하였다.
목차
- Ⅰ. 서 론 1Ⅱ. 문헌 조사 41. 압전 세라믹스 4가. 압전 세라믹스 개요 4나. 강유전 특성 및 페로브스카이트 구조 5다. 강유전체의 변형 특성 12라. 완화형 강유전체 및 초기 압전 효과 152. 무연 압전 재료 19가. 무연 압전 재료 개요 19나. 비스무스계 압전 재료 203. 압전 세라믹스의 전기열량효과 22Ⅲ. 실험 방법 및 측정 261. BNT-ST 무연 압전 세라믹스 26가. BNT-ST 세라믹스의 제조 공정 26나. BNT-ST 세라믹스의 특성 측정 301) 물리적 특성 302) 전기적 특성 313) 간접법을 통한 전기열량효과 측정 35Ⅳ. 결과 및 고찰 371. 저온 소결한 (Bi1/2,Na1/2)TiO3-SrTiO3의 특성 37가. 저온 소결한 BNT-ST의 물리적 특성 37나. 저온 소결한 BNT-ST의 유전 및 압전 특성 45다. 저온 소결한 BNT-ST의 전기열량효과 59Ⅴ. 결 론 65참고문헌 68영문초록 74