핫 플레이트 온도 균일도 향상을 위한 열설계 연구

이진호 ,  조형희

대한기계학회 춘추학술대회

2007 .10

고온용 Hot Plate의 온도 균일도에 향상에 관한 연구

구경완 ,  김태우 ,  정진도 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2013 .10

반도체 웨이퍼의 온도 측정에 관한 연구

이욱현 ,  조종표 ,  정학근 외 2명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2015 .06

반도체 공정에서 웨이퍼의 온도균일도향상을 위한 고속열처리공정기의 최적 파라미터 설계

최성규 ,  최진영 ,  권욱현

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1997 .10

8인치 웨이퍼의 온도균일도향상을 위한 고속열처리공정기의 최적 파라미터에 설계에 관한 연구 ( A Study on the Optimal Parameter Design of Rapid Thermal Processing to Improve Wafer Temperatures Uniformity )

최성규 ,  최진영 ,  권욱현

전자공학회논문지-D

1997 .10

반도체용 핫플레이트 챔버 내 자연대류가 핫플레이트 표면온도 균일도에 미치는 영향

박준수 ,  권현구 ,  조형희

대한기계학회 춘추학술대회

2007 .05

최적 반복 학습 제어기법을 이용한 RTP의 웨이퍼 온도균일제어

이진호 ,  진인식 ,  이광순 외 1명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

2000 .10

Control of Wafer Temperature Uniformity in Rapid Thermal Processing using an Optimal Iterative Learning Control Technique

이진호 ,  진인식 ,  이광순 외 1명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

2000 .10

반도체용 실리콘 웨이퍼의 진동 해석 ( Vibration Analysis of a Cubic-crystalline Silicon Wafer )

조진우 ,  김진오

대한기계학회 춘추학술대회

1994 .01

접촉전도와 반투명 복사가 반도체 웨이퍼의 CVD 공정 중 열전달에 미치는 영향

윤용석 ,  홍혜정 ,  송명호

대한기계학회 논문집 B권

2008 .02

웨이퍼 프로버 척의 저온 온도균일도 향상에 관한 연구

주영철 ,  신휘철 ,  강명구

한국산학기술학회 논문지

2009 .10

LPCVD 챔버 내 웨이퍼 온도 균일도 분석

강승환 ,  김병훈 ,  공병환 외 2명

한국가시화정보학회 학술발표대회 논문집

2016 .04

웨이퍼 분류 시스템의 설계 및 제작

김호종 ,  박홍래 ,  박승배 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

1998 .05

상업용 대형 가스오븐 시스템의 최적 설계

김도현 ,  유병훈 ,  금성민 외 1명

에너지공학

2016 .06

웨이퍼 배치 구조를 갖는 CVD 챔버 내부의 유동 분석

강승환 ,  이재원 ,  고한서

대한기계학회 논문집 B권

2018 .01

Temperature Measurement of Silicon Wafers Using Phase Estimation of Acoustic Wave

姜俊赫 ,  李錫垣

전기학회논문지 C

2003 .11

두께 균일도 향상을 위한 LPCVD 챔버 내 웨이퍼 온도 분포 분석

강승환 ,  김병훈 ,  공병환 외 2명

한국가시화정보학회지

2016 .08

웨이퍼 본딩장비의 균일압 분석에 관한 연구

이재학 ,  송준엽 ,  김형준 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2014 .05

Planetary 형 반응기에서 웨이퍼와 기판 사이의 틈새가 웨이퍼 온도에 미치는 영향에 대한 연구

정종완 ,  임익태

반도체디스플레이기술학회지

2017 .01

웨이퍼의 에지 형상 제어를 통한 연마 균일도 향상

최성하 ,  정호빈 ,  박영봉 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .06