지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
등록된 정보가 없습니다.
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
웨이퍼 표면에서의 균일한 박막 형성을 위한 입구 농도 경계조건의 최적화 ( Optimization of the inlet boundary condition of concentration for uniform growth rate on wafer )
대한기계학회 춘추학술대회
1997 .01
화학 증착법에 의한 텅스텐 박막 ( CVD-W )
전자공학회지
1988 .08
플라즈마 화학증착법 및 진공 화학 증착법에 의한 텅스텐 박막의 특성 비교 ( I ) ( Characteristic Comparison of Plasma Enhanced CVD and Vacuum CVD Tungsten Thin Films )
대한전자공학회 학술대회
1990 .01
CVD Pt 박막의 증착과 특성 분석
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
초고집적 소자를 위한 화학증착 알루미늄 박막의 증착 특성에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1993 .01
화학증착 알루미늄 박막의 표면 상태 개선에 관한 연구
한국표면공학회지
1993 .06
원통형 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착한 티타늄 박막의 특성
한국에너지학회 학술발표회
2016 .10
Cycle-CVD법으로 증착된 TiN 박막의 ALD 증착기구와 특성에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
CVD-Cu film의 특성에 증착온도가 미치는 영향
한국재료학회 학술발표대회
1994 .01
새로운 CVD 방법에 의하여 제작된 실리콘 박막의 특성 연구 ( Characterization of Silicon Thin Films Prepared by New CVD Technique )
대한전자공학회 학술대회
1989 .07
CVD에 의한 SnO₂ Film 제조시 증착조건이 Film의 증착속도 및 물리적 성질에 미치는 영향
한국표면공학회지
1985 .09
반응기판의 회전 속도에 따른 CVD 반응기 내의 유동 특성과 증착률에 관한 수치적 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2007 .04
고집적회로 금속선 형성을 위한 화학증착 알루미늄 박막 형성 ( Fabrication of CVD Aluminum for the Metallization of High Level IC )
대한전자공학회 학술대회
1993 .01
Polyimide 기판을 이용한 CVD-Cu 박막 형성기술
한국산학기술학회 논문지
2000 .06
회전식 화학증착 장치의 높은 증착 효율을 위한 최적 형상 전산해석연구
한국전산유체공학회 학술대회논문집
2013 .10
Microwave Plasma를 이용하여 증착한 diamond 박막의 증착변수에 따른 증착특성 연구
한국재료학회 학술발표대회
1994 .01
플라즈마 화학증착 텅스텐 박막 특성에 미치는 표면 반응온도의 영향 ( Effects of Surface Reaction Temperature on the Properties of Plasma Enhanced CVD Tungsten Thin Films )
대한전자공학회 학술대회
1990 .07
Laser CVD에 의한 비정질 실리콘 박막 형성
대한전자공학회 학술대회
1993 .07
열선 화학 기상증착법에 의한 다결정 실리콘 박막의 고속 저온 증착
한국재료학회 학술발표대회
2001 .01
비정질 실리콘 박막 증착용 고밀도 플라즈마 화학 증착장비
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2003 .01
0