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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 1990.10
- 수록면
- 421 - 426 (6page)
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Now cleanroom technology is growing as a total system technology
for contamination control. Considering the status of domestic
technology level, the basic design of cleanroom is dependent upon
foreign technology and cleanroom apparatus is made by copy of
foreign products even now, it is necessary to introduce the
problems through the evaluation of domestic technolgy level and to
establish the elemental technology in short times, for the
development of cleanroom technology.
Therefore, this study, model of tunnel type cleanroom generally
being used in domestic semi-conductor factories is designed and
manufactured, aims obtaining database for performance progress in
view point of architectural facilities throught cleanroom's
performance evaluation.
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