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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
송원일 (고려대학교) 박수빈 (한국생산기술연구원) 김기철 (한국생산기술연구원) 유경훈 (한국생산기술연구원) 태경응 (은성화학) 김용식 (삼우시스템) 양지석 (성지공조기술) 송덕용 (성지공조기술) 권오명 (고려대학교) 이건형 (삼성디스플레이)
저널정보
대한설비공학회 설비공학논문집 설비공학논문집 제30권 제11호
발행연도
2018.11
수록면
533 - 545 (13page)
DOI
10.6110/KJACR.2018.30.11.533

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이 논문의 연구 히스토리 (14)

2018

일유체 노즐을 이용한 실내 수분무가습 방식 클린룸의 에너지소비량에 관한 실험적 연구
송원일 ,  박수빈 ,  김기철 외 7명 설비공학논문집 2018.11 학술저널
일유체 노즐을 이용한 실내 수분무가습 방식 클린룸의 에너지소비량에 관한 연구
송원일 기계공학과 2018.01 학위논문

2017

실내 수분무 가습 방식 클린룸의 공조에너지 실험
송원일 ,  박수빈 ,  김기철 외 4명 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2017.06 학술대회자료
증기가습 방식 클린룸의 공조에너지 실험
송원일 ,  김기철 ,  유경훈 외 3명 대한기계학회 춘추학술대회 2017.05 학술대회자료

2016

증기 가습 방식 클린룸의 에너지 소비량 실험 및 수치해석
송원일 ,  유경훈 ,  김기철 외 2명 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2016.06 학술대회자료
가습 방식에 따른 클린룸 공조프로세스 비교 실험
송원일 ,  유경훈 ,  김기철 외 2명 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2016.06 학술대회자료
실내 수분무 가습 방식 클린룸의 에너지 소비량 비교 실험
송원일 ,  유경훈 ,  김기철 외 3명 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2016.06 학술대회자료
실내 수분무 가습 방식 클린룸의 공조프로세스 비교 실험
송원일 ,  유경훈 ,  김기철 외 3명 대한기계학회 춘추학술대회 2016.04 학술대회자료
증기 가습 방식 클린룸의 에너지 소비량 실험
송원일 ,  유경훈 ,  김기철 외 2명 대한기계학회 춘추학술대회 2016.04 학술대회자료

2015

첨단 전자 디바이스 제조용 클린룸의 가습 방식에 따른 연간 에너지 소비량 산출
송원일 ,  유경훈 ,  태경응 외 2명 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2015.06 학술대회자료
배기 열회수식 에어와셔 시스템 클린룸의 연간 전력 소비량 수치해석
송원일 ,  유경훈 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2015.06 학술대회자료
고온냉수 시스템을 이용한 반도체 클린룸의 연간 전력 소비량 산출
송원일 ,  유경훈 ,  이관철 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2015.06 학술대회자료
가습 방식에 따른 반도체 클린룸의 연간 에너지 소비량 수치해석
송원일 ,  유경훈 ,  태경응 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2015.04 학술대회자료
클린룸 최신 기술의 심층분석 - 일유체 노즐을 이용한 실내 수분무 가습 클린룸 시스템
송원일 ,  유경훈 ,  태경응 외 1명 공기청정기술 2015.01 학술저널

초록· 키워드

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For a recent large-scale semiconductor manufacturing plant, the air conditioning energy consumption required to maintain a cleanroom environment accounts for 40~50% of the total energy consumption in the plant. Therefore, the assessment of the air conditioning energy consumption in the cleanroom is critical for reducing energy cost in the plant. Particularly, the energy consumption required to humidify incoming outdoor air in the winter season is generally known to be high. In order to displace the huge energy consumption of steam generators like boilers in a conventional steam humidification type cleanroom, a water spray humidification technique by use of a water spray nozzles can be introduced into the air circulation path inside the cleanroom instead of the steam generators inside the outdoor air conditioning system. In the present study, a twin cleanroom experiment with each outdoor air flow of 2,300 ㎥/h was conducted to obtain and compare real time electric power consumption structures of a steam humidification type cleanroom and an indoor water spray humidification type cleanroom with one-fluid nozzles. In addition, a numerical calculation was carried out to assess the annual power consumptions of the two types of cleanrooms. It was concluded from the present work that the indoor water spray humidification type cleanroom was more energy-efficient and reduced the annual electric power consumption of the steam humidification type cleanroom by about 27%.
#Semiconductor manufacturing cleanroom(반도체 클린룸) #Indoor water spray humidification(실내수분무가습) #Twin cleanroom experiment (트윈 클린룸 실험) #Electric power consumption(소비전력량) #One-fluid nozzle(일유체 노즐)

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험 장치 및 방법
3. 실험 결과 및 검토
4. 결론
References

참고문헌 (15)

참고문헌 신청
Hu, S. C. and Chuah, Y. K., 2003, Power consumption of semiconductor fabs in Taiwan, Journal of Energy, Vol. 28, No. 8, pp. 895-907. Hu, S. C. and Tsao, J. M., 2007, A comparative study on energy consumption for HVAC systems of high-tech FABs, Applied Thermal Engineering, Vol. 27, No. 17-18, pp. 2758-2766. Tsao, J. M., Hu, S. C., Chan, D. Y. L., Hsu, R. T. C., and Lee, J. C. C., 2008, Saving energy in the make-up air unit(MAU) for semiconductor clean rooms in subtropical areas, Energy and Buildings, Vol. 40, No. 8, pp. 1387-1393. Hu, S. C., Wu, J. S., Chan, D. Y. L., Hsu, R. T. C., and Lee, J. C. C., 2008, Power consumption benchmark for a semiconductor cleanroom facility system, Energy and Buildings, Vol. 40, No. 9, pp. 1765-1770. Tsao, J. M., Hu, S. C., Xu, T., and Chan, D. Y. L., 2010, Capturing Energy-Saving Opportunities in Make-Up Air Systems for Cleanrooms of High-Technology Fabrication Plant in Subtropical Climate, Energy and Buildings, Vol. 42, No. 11, pp. 2005-2013.

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