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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학위논문
- 저자정보
- 지도교수
- 권오명, 유경훈
- 발행연도
- 2018
- 저작권
- 고려대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
이용수2
이 논문의 연구 히스토리 (14)
2018
2017
2016
증기 가습 방식 클린룸의 에너지 소비량 실험 및 수치해석
송원일
,
유경훈
,
김기철
외 2명
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2016.06
학술대회자료
가습 방식에 따른 클린룸 공조프로세스 비교 실험
송원일
,
유경훈
,
김기철
외 2명
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2016.06
학술대회자료
실내 수분무 가습 방식 클린룸의 에너지 소비량 비교 실험
송원일
,
유경훈
,
김기철
외 3명
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2016.06
학술대회자료
실내 수분무 가습 방식 클린룸의 공조프로세스 비교 실험
송원일
,
유경훈
,
김기철
외 3명
대한기계학회 춘추학술대회
2016.04
학술대회자료
증기 가습 방식 클린룸의 에너지 소비량 실험
송원일
,
유경훈
,
김기철
외 2명
대한기계학회 춘추학술대회
2016.04
학술대회자료
2015
첨단 전자 디바이스 제조용 클린룸의 가습 방식에 따른 연간 에너지 소비량 산출
송원일
,
유경훈
,
태경응
외 2명
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2015.06
학술대회자료
배기 열회수식 에어와셔 시스템 클린룸의 연간 전력 소비량 수치해석
송원일
,
유경훈
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2015.06
학술대회자료
고온냉수 시스템을 이용한 반도체 클린룸의 연간 전력 소비량 산출
송원일
,
유경훈
,
이관철
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2015.06
학술대회자료
가습 방식에 따른 반도체 클린룸의 연간 에너지 소비량 수치해석
송원일
,
유경훈
,
태경응
외 1명
대한기계학회 춘추학술대회
2015.04
학술대회자료
클린룸 최신 기술의 심층분석 - 일유체 노즐을 이용한 실내 수분무 가습 클린룸 시스템
송원일
,
유경훈
,
태경응
외 1명
공기청정기술
2015.01
학술저널
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In recent large-scale semiconductor manufacturing cleanrooms, the air conditioning energy consumption required to maintain cleanroom environment represents 40~50 % of the total power consumption in the factory. Therefore, the assessment on energy consumption in the air conditioning system of the cleanroom factory is essential for reducing the air conditioning load for the cleanroom. In particular, the energy consumption required to humidify outdoor air in the winter season is generally known to be enormous. Recently, in order to overcome the high energy consumption nature of a steam generator in a conventional steam humidification type cleanroom, a water spray humidification method with water spray nozzles is often introduces into cleanroom indoors instead of the steam generator in the outdoor air conditioning system. In the present study, a twin cleanroom experiment with an outdoor air flow of 2,300 m3/h was conducted to compare at the same time the electric power consumption structure in a steam humidification type cleanroom and a indoor water spray humidification type cleanroom with one fuid nozzles. Besides, a numerical calculation was carried out to evaluate the annual power consumption of the two types of cleanrooms. It can be concluded from the present study that the indoor water spray humidification type cleanroom is more energy-efficient than the steam humidification type cleanroom. Furthermore it was shown from the numerical results that the indoor water spray humidification type cleanroom reduced 27 % of the annual electric power consumption of the steam humidification type cleanroom.
목차
Abstract ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥ i목차 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥ iiiList of Figures ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥ vList of Tables ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥·· viii제 1 장 서론 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥ 11-1. 연구 배경 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥ 11-2. 가습방식의 개요 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥ 3가. 증기가습 방식 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥ 3나. 이유체노즐 실내 수분무가습 방식 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥ 4다. 일유체노즐 실내 수분무가습 방식 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥· 5제 2 장 실험 장치 및 방법 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥ 82-1. 실험 장치 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥·· 82-2. 실험 방법 및 조건‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥ 13제 3 장 결과 및 고찰 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥ 223-1. 공조프로세스 실험결과 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥ 223-1-1. 증기가습 방식의 공조프로세스 실험결과 ‥‥‥‥‥‥‥ 223-1-2. 실내 수분무가습 방식의 공조프로세스 실험결과 ‥‥‥· 263-1-3. 가습 방식에 따른 공조프로세스 실험결과 비교 ‥‥‥‥ 303-2. 소비전력량 실험결과 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥· 313-2-1. 증기가습 방식 클린룸의 소비전력량 실험결과 ‥‥‥‥· 313-2-2. 실내 수분무가습 방식 클린룸의 소비전력량 실험결과 ‥ 333-2-3. 소비전력량 실험결과 비교 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥ 353-3. 에너지환산계수 산출 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥· 393-4. 연간 소비전력량 산출 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥··· 433-5. 과냉각 여부 판단 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥··· 56제 4 장 결론 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥ 59참고문헌 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥ 62
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