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송원일 (한국생산기술연구원) 박수빈 (한국생산기술연구원) 김기철 (한국생산기술연구원) 유경훈 (은성화학) 태경응 (은성화학) 김용식 (삼우시스템) 권오명 (고려대학교)
저널정보
대한설비공학회 대한설비공학회 학술발표대회논문집 대한설비공학회 2017년도 하계학술발표대회 논문집
발행연도
2017.6
수록면
1,043 - 1,046 (4page)

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In high-tech electronic device manufacturing cleanrooms such as semiconductor and display, they use huge amounts of energy to maintain cleanroom environment. Because the energy consumption of outdoor air conditioning system represents about 45% of the total air conditioning load, analysis on total cleanroom energy consumption is much worth from energy saving viewpoint. In the present study, an experiment was carried out to evaluate air conditioning energy in a model cleanroom using an indoor water spray humidification system with an outdoor air volume of 3,000 m3/h, which is located in Ansan, Korea. Therefore we analyze the energy consumption about seasonal energy characteristic to indoor water spray humidification system cleanroom. The experimental results showed that the indoor water spray humidification system was more energy-efficient than the existing steam humidification system.

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험 조건 및 방법
3. 결과 및 검토
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