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저자정보
박수빈 (한국생산기술연구원) 유경훈 (한국생산기술연구원) 양지석 (한국생산기술연구원) 송덕용 (성지공조기술) 황정호 (연세대학교)
저널정보
대한설비공학회 대한설비공학회 학술발표대회논문집 대한설비공학회 2018년도 하계학술발표대회 논문집
발행연도
2018.6
수록면
870 - 873 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2018

반도체 클린룸용 듀얼 프리쿨링 냉각탑의 중간기 운전에 관한 기초연구
박수빈 ,  유경훈 ,  양지석 외 2명 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2018.11 학술대회자료
공업용 클린룸을 위한 듀얼 프리쿨링 냉각탑의 냉각성능 실험
박수빈 ,  유경훈 ,  양지석 외 2명 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2018.06 학술대회자료
첨단 전자 산업용 클린룸을 위한 듀얼 프리쿨링 방식 냉각탑의 냉각성능 실험
박수빈 ,  유경훈 ,  양지석 외 2명 대한기계학회 춘추학술대회 2018.04 학술대회자료

초록· 키워드

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So far, energy conservation issue has been important in electronics industry due to the regulation of global warming gas emission prevention. Besides, in a cleanroom for semiconductor manufacturing, energy saving demand for cleanroom facility is getting stronger because of worldwide price competition of a semiconductor. In such an electronics industry cleanroom with huge internal heat generation, annual continuous cooling is necessary and subsequent energy consumption becomes enormous. Free cooling is very effective for the reduction of the energy consumption in the cleanroom facility in the winter and intermediate seasons. Therefore, in the present article, we describe the present cleanroom facility with respect to the system configuration and operation method of cooling heat source. Finally, experimental energy consumption results with and without free cooling are compared in a way to find out maximizing the energy saving effect of cooling heat source system with dual free cooling operation.
#Industry cleanroom(공업용 클린룸) #Dual free-cooling(듀얼 프리 쿨링) #Cooling heat source(열냉각 열원) #Energy conservation(에너지 보존)

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험 장치 및 방법
3. 결과 및 검토
References

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