RF-diode Sputtering법에 의한 Y-Ba-Cu-O 초전도체의 박막공정 연구 ( Fabrication of Superconducting Y-Ba-Cu-O Thin Films by RF-diode Sputtering Method )

유형준 ,  Y. Unekawa ,  마동성 외 1명

한국통신학회 학술대회논문집

1989 .01

RF Magnetron Sputtering에 의한 Ba$_{2}$Cu$_{3}$O$_{7-{\delta}}$ 초전도체 제작 및 평가

Kang ,  S.M. ,  Kim 외 11명

한국초전도학회 High Temperature Superconductivity

2001 .01

산소에 의한 Y-Ba-Cu-O 계 초전도체 표면 부식 ( Surface attack of Y-Ba-Cu-O superconductor by oxygen )

유성태 ,  임남희 ,  한병성

대한전자공학회 학술대회

1989 .11

수분에 의한 Y-Ba-Cu-O계 초전도체 표면 부식

兪星泰 ,  林南熙 ,  柳康植 외 1명

전기학회논문지

1990 .11

스퍼터링법에 의한 Cu막 형성 기술

김현식 ,  송재성 ,  정순종 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1996 .07

Y-Ba-Cu-O 초전도체에서 천이금속 ( Ni ) 의 효과 ( Effect on Transition-Metal ( Ni ) on the Superconductor Y-Ba-Cu-O )

한병성

전자공학회논문지

1990 .05

Rf-magnetron sputtering system을 사용한 YBa₂Cu₃O_x초전도 박막의 제조

박성진 ,  김민기 ,  최성환 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1992 .07

RF magnetron sputtering 으로 제조한 (Ba, Sr)$TiO_3$ 박막의 전기적 특성에 대한 산소 plasma의 영향

이원재 ,  김호기

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

SOLID SOLUTIONS IN THE Y-Ba-W-Cu-O SYSTEM

Nipan ,  Geo ,  ge-D. 외 7명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Y-Ba-Cu-O계와 Bi-Sr-Ca-Cu-O계 초전도체의 결정 성장 ( Crystal growth of Y-Ba-Cu-O and Bi-Sr-Ca-Cu-O superconductor )

유성태 ,  임남희 ,  한병성

대한전자공학회 학술대회

1989 .07

RF Magnetron Sputtering법으로 제조한 Cu₂ZnSnS₄박막 특성에 관한 연구

이재춘 ,  설재승 ,  남효덕 외 2명

한국표면공학회지

2002 .02

고온초전도 Y-Ba-Cu-O 에피택셜 박막을 이용한 고주파 수동소자의 구현 ( Application of High T Superconducting Y-Ba-Cu-O Epitaxial Thin Films to Passive High Frequency Devices )

강광용 ,  서정대 ,  이종용 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1992 .05

고주파 마그네트론 스퍼터장치로 증착한 Ti 박막의 특성에 관한 연구

배창환 ,  이주희 ,  한창석

열처리공학회지

2009 .01

RF Magnetron Sputtering법으로 제조한 Cu₂ZnSnS₄박막의 특성분석

이상율 ,  김규호

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2000 .11

반응성 RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 TiN_x 상온 성막에 있어서 기판 상의 펄스상 직류 바이어스 인가 효과

김세기

한국표면공학회지

2019 .12

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 면저항분석

박문찬 ,  오정홍 ,  김남영 외 1명

한국안광학회지

1999 .06

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 XPS 분석

박문찬 ,  오정홍 ,  황보창권

한국안광학회지

1998 .12

RF-Sputtering으로 제작된 ZnO 박막의 열처리특성

서진호 ,  이덕동 ,  이종현 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1984 .11