RF magnetron sputtering에 의한 $(Ba_{1-x},Sr_{x})TiO_{3}$ 박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구

박상식 ,  윤순길

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

RF Magnetron Sputtering에 의한 $(Ba_{0.5}, Sr_{0.5})Tio_3$박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구

박상식 ,  윤손길

한국재료학회지

1994 .01

RF Magnetron Sputtering을 이용한 $TiO_2$ 박막의 결정성과 광학적 특성

강계원 ,  이영훈 ,  곽재찬 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

RF 마그네트론 스퍼터링법에 의한 (Sr_1-xCa_x)TiO₃ 박막의 제조 및 유전특성

김진사 ,  백봉현 ,  장원석 외 5명

대한전기학회 학술대회 논문집

1998 .07

On-axis와 off-axis 방식 rf 마그네트론 스퍼터링법으로 증착된 (Ba,Sr)$TiO_3$ 축전박막에서의 전기적 물성에 대한 스트레스 영향

박우영 ,  안건호 ,  황철성

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

RF magnetron sputter로 성장시킨 고유전 $TiO_2:SiO_2$ 박막의 특성

김성연 ,  오병윤 ,  함문호 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2006 .01

$(Ba,Sr)RuO_3$ 산화물 전극의 열처리가 $(Ba,Sr)TiO_3$의 전기적 특성에 미치는 영향고찰

박경웅 ,  오세훈 ,  박정희 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

$(Ba,Sr)TiO_3$의 전기적 특성에 미치는 $Sb_2O_3$의 영향

유신욱 ,  어순철 ,  김일호 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

산소 분위기 열처리에 따른 ($Ba_{0.5}Sr_{0.5}$)$TiO_3$박막의 전기적 특성과 미세조직에 관한 연구

배현수 ,  오상호 ,  박찬경

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

증착시간에 따른 (Ba, Sr)TiO₃ 박막의 유전특성

이상철 ,  임성수 ,  이성갑 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .11

기판온도에 따른 (Ba, Sr)TiO₃ 박막의 유전특성

이상철 ,  정장호 ,  배선기 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .07

$Ba_{0.5}Sr_{0.5}TiO_3$ 박막의 마이크로파 특성에 있어서 응력효과

김일두 ,  임미화 ,  박정호 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

유도결합 플라즈마에 의한 ( Ba , Sr ) TiO3 박막의 식각 특성 연구 ( The Study on the Etching Characteristics of ( Ba , Sr ) TiO3 Film by Inductively Coupled Plasma )

김승범 ,  이영준 ,  염근영 외 1명

전자공학회논문지-D

1999 .04

기판온도에 따른 (Ba,Sr)TiO₃ 박막의 구조와 유전특성

李相喆 ,  李文基 ,  李永熙

전기학회논문지 C

2000 .11

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 면저항분석

박문찬 ,  오정홍 ,  김남영 외 1명

한국안광학회지

1999 .06

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 XPS 분석

박문찬 ,  오정홍 ,  황보창권

한국안광학회지

1998 .12

고밀도 플라즈마에 의한 (Ba.Sr)TiO₃막의 식각특성 연구

김승범 ,  김창일 ,  장의구

대한전기학회 학술대회 논문집

1998 .11

고주파 스퍼터링 방법으로 증착한 (Ba, Sr)$TiO_xN_y$ 박막의 특성 분석

김지훈 ,  황철성

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01