RF Magnetron Sputtering에 의한 $(Ba_{0.5}, Sr_{0.5})Tio_3$박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구

박상식 ,  윤손길

한국재료학회지

1994 .01

RF Magnetron Sputtering을 이용한 $TiO_2$ 박막의 결정성과 광학적 특성

강계원 ,  이영훈 ,  곽재찬 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 면저항분석

박문찬 ,  오정홍 ,  김남영 외 1명

한국안광학회지

1999 .06

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 XPS 분석

박문찬 ,  오정홍 ,  황보창권

한국안광학회지

1998 .12

RF 마그네트론 스퍼터링법에 의한 (Sr_1-xCa_x)TiO₃ 박막의 제조 및 유전특성

김진사 ,  백봉현 ,  장원석 외 5명

대한전기학회 학술대회 논문집

1998 .07

RF magnetron sputter로 성장시킨 고유전 $TiO_2:SiO_2$ 박막의 특성

김성연 ,  오병윤 ,  함문호 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2006 .01

스퍼터링법에 의해 형성된 $(Zr,Sn)TiO_4$박막의 전기적 특성에 관한 연구

성현호 ,  이병일 ,  주승기

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

RF Magnetron Sputtering법에 의해 제작한 마그네슘 박막의 특성연구

배일용 ,  김기준 ,  문경만 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2000 .11

Deposition of ZrO₂ and TiO₂ Thin Films Using RF Magnetron Sputtering Method and Study on Their Structural Characteristics

Y. S. Shin ,  S. H. Jeong ,  C. H. Heo 외 4명

한국표면공학회지

2002 .02

Deposition of TiO thin films using grid-assisting magnetron sputtering

Min J. Jung ,  Yong M. Kim ,  Yun M. Chung 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2003 .05

RF magnetron sputtering 으로 제조한 (Ba, Sr)$TiO_3$ 박막의 전기적 특성에 대한 산소 plasma의 영향

이원재 ,  김호기

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

R.F 마그네트론 스퍼트링으로 작성된 TiO₂박막의 NO_x 감지 특성

高羲石 ,  朴在潤 ,  朴相鉉

전기학회논문지 C

2002 .11

RF reactive magnetron sputtering으로 제조한 TiO 박막의 구조 및 광학적 특성

강계원 ,  이영훈 ,  곽재천 외 4명

한국재료학회지

2002 .01

ZnO Thin Films Co-Doped Li-Al Grown Using RF Magnetron Sputtering

Jun-Pyo Hong ,  Ki Chang Lee ,  Un Bin Han 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

반응성 RF마그네트론 스퍼터링법에 의해 제작한 TiO₂ 박막의 광촉매 특성

이정철 ,  이건환 ,  송풍근

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .04

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작한 고온 내구성 InSbO₄ 박막의 물성 평가

이현준 ,  조상현 ,  송풍근

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .05

Reactive DC Magnetron Sputtering으로 제조된 $TiO_2$ 박막의 친수성

이영철 ,  박용환 ,  고경현 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

The Characteristics of Cu₂O Thin Films Deposited Using RF-Magnetron Sputtering Method with Nitrogen-Ambient

Seong Hyun Lee ,  Sun Jin Yun ,  Jung Wook Lim

[ETRI] ETRI Journal

2013 .12

RF Magnetron Sputtering법으로 제작한 투명전도성 박막의 미세구조와 전기적 특성에 관한 연구

전용수 ,  김성수

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01