RAPID 2010

우윤환

한국CDE학회지

2010 .08

고속 열확산에 의해 제작된 다이오드의 Rapid Thermal Alloy ( Rapid Thermal Alloy of Fabricated Diode by Rapid Thermal Diffusion )

이동엽 ,  이영희

전자공학회논문지-A

1992 .02

A Robust Controller Design for Rapid Thermal Processing in Semiconductor Manufacturing

Byung-Wook Choi ,  Seong-Gyu Choi ,  dong-Sung Kim 외 2명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1995 .10

Rapid Thermal Process에 의해 형성시킨 얇은 산화막의 전기적 특성

이철진 ,  성만영 ,  성영권

대한전기학회 학술대회 논문집

1994 .11

A New Thermal Characterization Technique for Thermal Actuators Using a Frequency Response Analyzer

Jae Youl Lee ,  Sang Won Kang

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Rapid Thermal Annealing System의 시험 제작 ( Experimental Results of a Prototype Rapid Thermal Annealing System )

조병진 ,  김경태 ,  김충기

대한전자공학회 학술대회

1986 .01

Characterization of TiN/TiSi2 System by Two Step Rapid Thermal Anneal

Cheol Jin Lee

KITE JOURNAL OF ELECTRONICS ENGINEERING

1992 .01

Characterization of TiN / TiSi2 Structure Formation by a Rapid Thermal Anneal

Cheol Jin Lee ,  성영권

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1991 .01

Formation of Shallow Phosphorus Layers by Rapid Thermal Processing Using a Solid Diffusion Source

Kyeong-Tae Kim ,  Choong-Ki Kim ,  Byung-Jin Cho 외 1명

JOURNAL OF KIEE

1988 .09

Characterization of the Nitrided GaAs Thin Layers after Rapid Thermal Annealing by Using Raman Scattering

Eui Kwan Koh ,  Young Ju Pa ,  k 외 2명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Rapid Thermal Annealing for the Thermal Oxidation and the Activation of implanted Impurities

Kazushige Ayukawa ,  Katsufusa Ayukawa

대한전자공학회 세미나

1992 .01

일정한 파워 분포를 위한 고속열처리 장치의 설계

李東燁 ,  崔晉鎬

전기학회논문지

1997 .06

Synthesis and Characterization

I Whan Cho ,  Kwang Choon Chung

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1984 .04

주사탐침열파현미경 기반의 정량적 열전도도 계측기법을 이용한 Bi₂Te₃ 나노선의 열전도도 계측

박경배 ,  황광석 ,  정의한 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2013 .12

급속 열처리 시스템에서 웨이퍼의 온도 분포 예측 ( Temperature Simulation of Wafer in Rapid Thermal Processing System )

유영돈 ,  신현동 ,  김문언

한국통신학회 학술대회논문집

1989 .01

급속 열처리 시스템에서 웨이퍼의 온도 분포 예측 ( Temperature Simulation of Wafer in Rapid Thermal Processing System )

유영돈 ,  신현동 ,  김문언

특정연구 결과 발표회 논문집

1989 .01

Epitaxial Growth and Characterization of 3C-SiC on Si Substrate using Rapid Thermal Chemical Vapour Deposition

심현욱 ,  김광철 ,  서영훈 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Rapid Thermal Anneal 에 의한 TiN / TiSi2 구조 형성에 관한 연구 ( Ⅰ ) ( Characterization of TiN / TiSi2 Structure Formation by a Rapid Thermal Anneal ( Ⅰ ) )

이철진 ,  천영일 ,  박종호 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1991 .07

RAPID THERMAL ANNEAL에 의한 TiN / TiSi₂구조 형성에 관한 연구(Ⅰ)

이철진 ,  천영일 ,  박종호 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1991 .06

Call Processing Algorithms

임종설

한국통신학회 세미나

1991 .01