65 ㎚이하 shallow trench isolation (STI) gap fill 특성향상을 위한 profile 개선 연구

김희대 ,  박창기 ,  이내응

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .10

Deep-Submicron CMOS기술을 위한 High-Density-Plasma ( HDP ) CVD 매립 물질로 채워진 Shallow 트렌치 분리 특성 ( Shallow Trench Isolation Characteristics with High-Densty-Plasma ( HDP ) CVD Oxide for Deep-Submicron CMOS Technologies )

이승호 ,  정구철 ,  정성웅 외 4명

대한전자공학회 워크샵

1997 .01

차세대 STI Gap Fill 방법의 연구

유진혁 ,  김희대 ,  한정훈 외 5명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2007 .04

TRENCH ETCHING FOR SHALLOW TRENCH ISOLATION USING $Cl_2/Ar$ PLASMA

Kim ,  C.B. ,  Jun 외 7명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Shallow Trench Isolation for 0.15mm Device

Jung H. Lee ,  Se J. Rhee ,  Jun G. Choi 외 4명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01

Gap 산화막의 특성에 관하여

박재우 ,  문동찬 ,  김선태

대한전기학회 학술대회 논문집

1988 .11

Effect of a Multi-Step Gap-Filling Process to Improve Adhesion between Low-K Films and Metal Patterns

Lee ,  Woojin ,  Kim 외 3명

한국재료학회지

2016 .01

Reduction of Plasma Process Induced Damage during HDP IMD Deposition

Yong Jin Seo ,  Sang Yong Kim ,  Woo-Sun Lee

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2002 .01

STI(Shallow Trench Isolation) 공정에서 Torn Oxide Defect 해결에 관한 연구

김상용 ,  서용진 ,  김태형 외 4명

대한전기학회 학술대회 논문집

1998 .11

STI 구조를 갖는 소자의 leakage path 발생 과정에 대한 모델링 연구

서대만 ,  박연식 ,  상재호 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2010 .05

Simulations of Stress and Narrow Width Effects in Shallow Trench Isolation and Its Applications

Yong-Jae Lee ,  Jong-Hyung Lee

INTERNATIONAL CONFERENCE ON FUTURE INFORMATION & COMMUNICATION ENGINEERING

2011 .06

Failure Analysis for High via Resistance by HDP CVD System for IMD Layer

Hun-SangChung ,  Sang-YongKim ,  Yong-JinSeo

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2002 .01

39.3 Hyper-reality Head Dome Projector $^{TM}$(HDP) for future displays

Okumu ,  a ,  Ha 외 8명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2008 .01

Trench isolation을 사용한 다이오드의 전기적 특성 ( The Electrical Characteristics of diode using trench isolation )

편광의 ,  양전욱 ,  조경익 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1986 .01

Trench isolation을 사용한 다이오드의 전기적 특성

편광의 ,  양전욱 ,  조경익 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1986 .06

HDP CVD에서 공정 가스 유량 감소에 따른 D/S ratio의 변화에 의한 Gap-fil 특성 확인

박신근 ,  서창수 ,  지상엽 외 6명

대한전자공학회 학술대회

2015 .06

Flowable oxide CVD Process for Shallow Trench Isolation in Silicon Semiconductor

Sung-Woong Chung ,  Sang-Tae Ahn ,  Hyun-Chul Sohn 외 1명

JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE

2004 .03

Determination of End Point for Direct Chemical Mechanical Polishing of Shallow Trench Isolation Structure

Yong-Jin Seo ,  Kyoung-Jin Lee ,  Sang-Yong Kim 외 1명

KIEE International Transactions on Electrophysics and Applications

2003 .02

도시철도차량의 안전발판에 관한 연구

최시행 ,  양회성 ,  추돈호 외 1명

한국철도학회 학술발표대회논문집

2009 .05

Gap 센서의 열 특성에 관한 연구

구재량 ,  이두영 ,  이대성 외 1명

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2005 .05