STI(Shallow Trench Isolation) 공정에서 Torn Oxide Defect 해결에 관한 연구

김상용 ,  서용진 ,  김태형 외 4명

대한전기학회 학술대회 논문집

1998 .11

STI 구조를 갖는 소자의 leakage path 발생 과정에 대한 모델링 연구

서대만 ,  박연식 ,  상재호 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2010 .05

Shallow Trench Isolation for 0.15mm Device

Jung H. Lee ,  Se J. Rhee ,  Jun G. Choi 외 4명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01

THE CHARACTERIZATION OF SHALLOW TRENCH ISOLATION CHEMICAL MECHANICAL PLANARIZATION(STI CMP) THROUGH THE ANALYSIS FOR RELATIONSHIP OF BETWEEN PATTERN AND NON-PATTERN WAFER

Kim ,  Yong-Sik ,  Lee 외 7명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

TRENCH ETCHING FOR SHALLOW TRENCH ISOLATION USING $Cl_2/Ar$ PLASMA

Kim ,  C.B. ,  Jun 외 7명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Simulations of Stress and Narrow Width Effects in Shallow Trench Isolation and Its Applications

Yong-Jae Lee ,  Jong-Hyung Lee

INTERNATIONAL CONFERENCE ON FUTURE INFORMATION & COMMUNICATION ENGINEERING

2011 .06

비이상 불순물 분포 상태가 $CoSi_2$와 STI 공정에 의해서 제작된 CMOS 소자의 누설전류에 미치는 영향에 관한 연구

최철종 ,  성태연

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

고집적 회로의 트렌치 소자분리를 위한 매립 산화물의 치밀화 연구 ( Densification of the Filled Oxide for VLSI Shallow Trench Isolation ( STI ) )

박태서 ,  이한신 ,  박문한 외 4명

대한전자공학회 워크샵

1996 .01

Trench isolation을 사용한 다이오드의 전기적 특성 ( The Electrical Characteristics of diode using trench isolation )

편광의 ,  양전욱 ,  조경익 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1986 .01

Trench isolation을 사용한 다이오드의 전기적 특성

편광의 ,  양전욱 ,  조경익 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1986 .06

STI-CMP공정에서 표면특성에 미치는 패턴구조 및 슬러리 종류의 효과

이훈 ,  임대순 ,  이상익

한국트라이볼로지학회 학술대회

2002 .05

STI-CMP 공정의 질화막 잔존물 및 패드 산화막 손상에 대한 연구

李愚宣 ,  徐龍辰 ,  金相用 외 1명

전기학회논문지 C

2001 .09

Determination of End Point for Direct Chemical Mechanical Polishing of Shallow Trench Isolation Structure

Yong-Jin Seo ,  Kyoung-Jin Lee ,  Sang-Yong Kim 외 1명

KIEE International Transactions on Electrophysics and Applications

2003 .02

Effect of a Multi-Step Gap-Filling Process to Improve Adhesion between Low-K Films and Metal Patterns

Lee ,  Woojin ,  Kim 외 3명

한국재료학회지

2016 .01

차세대 STI Gap Fill 방법의 연구

유진혁 ,  김희대 ,  한정훈 외 5명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2007 .04

Reproducible Chemical Mechanical Polishing Characteristics of Shallow Trench Isolation Structure using High Selectivity Slurry

So-young-Jeong ,  Yong-JinSeo ,  Sang-YongKim

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2002 .01

Shallow Trench Isolation Characteristics with High Density Plasma ( HDP ) Gap-Fill Oxide , Compared to HLD Gap-Filler

Seung Ho Lee ,  손정환 ,  Ku Chul Jung 외 6명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01

제안된 얕은 트랜치 격리에서 구조형태에 따른 제작 및 특성의 시뮬레이션

이용재

한국정보통신학회논문지

2012 .01

새로운 TiSi₂ 형성방법과 STI를 이용한 초박막 게이트 산화막의 특성 개선 연구

엄금용 ,  오환술

대한전자공학회 학술대회

2000 .11

STI Network Management Status

Sang Gil Lee

CDMA International Conference and Exhibition

1997 .01