STI(Shallow Trench Isolation) 공정에서 Torn Oxide Defect 해결에 관한 연구

김상용 ,  서용진 ,  김태형 외 4명

대한전기학회 학술대회 논문집

1998 .11

65 ㎚이하 shallow trench isolation (STI) gap fill 특성향상을 위한 profile 개선 연구

김희대 ,  박창기 ,  이내응

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .10

트렌치 깊이에 따른 트랜지스터와 소자분리 특성

박상원 ,  김선순 ,  최준기 외 5명

대한전자공학회 학술대회

1999 .06

STI 구조를 갖는 소자의 leakage path 발생 과정에 대한 모델링 연구

서대만 ,  박연식 ,  상재호 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2010 .05

Shallow Trench Isolation for 0.15mm Device

Jung H. Lee ,  Se J. Rhee ,  Jun G. Choi 외 4명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01

THE CHARACTERIZATION OF SHALLOW TRENCH ISOLATION CHEMICAL MECHANICAL PLANARIZATION(STI CMP) THROUGH THE ANALYSIS FOR RELATIONSHIP OF BETWEEN PATTERN AND NON-PATTERN WAFER

Kim ,  Yong-Sik ,  Lee 외 7명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

TRENCH ETCHING FOR SHALLOW TRENCH ISOLATION USING $Cl_2/Ar$ PLASMA

Kim ,  C.B. ,  Jun 외 7명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Simulations of Stress and Narrow Width Effects in Shallow Trench Isolation and Its Applications

Yong-Jae Lee ,  Jong-Hyung Lee

INTERNATIONAL CONFERENCE ON FUTURE INFORMATION & COMMUNICATION ENGINEERING

2011 .06

STI-CMP 공정의 질화막 잔존물 및 패드 산화막 손상에 대한 연구

李愚宣 ,  徐龍辰 ,  金相用 외 1명

전기학회논문지 C

2001 .09

비이상 불순물 분포 상태가 $CoSi_2$와 STI 공정에 의해서 제작된 CMOS 소자의 누설전류에 미치는 영향에 관한 연구

최철종 ,  성태연

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

A Study on the Electrical Characteristics of Ultra Thin Gate Oxide

Gum-Yong Eom

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2004 .01

새로운 티타늄 실리사이드 형성공정과 STI를 이용한 서브 0.1㎛ ULSI급 소자의 특성연구

엄금용 ,  오환술

전자공학회논문지-SD

2002 .05

전력용 반도체 소자의 항복 전압 특성을 개선한 얇은 실리콘 산화막 트렌치를 이용한 새로운 접합 마감

하민우 ,  오재근 ,  한민구 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2002 .07

얕은 트렌치와 전계 제한 확산 링을 이용한 접합 마감 설계의 1200 V급 소자에 적용

河珉宇 ,  吳在根 ,  崔然益 외 1명

전기학회논문지 C

2004 .06

제안된 얕은 트랜치 격리에서 구조형태에 따른 제작 및 특성의 시뮬레이션

이용재

한국정보통신학회논문지

2012 .01

새로운 트렌치 게이트 MOSFET 제조 공정기술 및 특성

백종무 ,  조문택 ,  나승권

한국항행학회논문지

2014 .01

STI 공정, 반도체 소자 분리 기술로 각광

한국전자산업진흥회

전자진흥

2006 .01

Flowable oxide CVD Process for Shallow Trench Isolation in Silicon Semiconductor

Sung-Woong Chung ,  Sang-Tae Ahn ,  Hyun-Chul Sohn 외 1명

JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE

2004 .03

Trench isolation을 사용한 다이오드의 전기적 특성 ( The Electrical Characteristics of diode using trench isolation )

편광의 ,  양전욱 ,  조경익 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1986 .01

Trench isolation을 사용한 다이오드의 전기적 특성

편광의 ,  양전욱 ,  조경익 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1986 .06