SiO2박막의 열적 질화 ( Thermal Nitridation of Thin SiO2 Film )

이용수 ,  이용현 ,  손병기

전자공학회논문지

1988 .11

급속 열처리에 의한 SiO2의 질화 ( Rapid Thermal Nitridation of SiO2 )

이용현 ,  왕진석

전자공학회논문지

1990 .05

Nitridation and Reoxidation of SiO₂ for Ultra-thin Dielectric

Jung-Suk Lee ,  Chang-Dug Jang ,  Yong-Jae Lee

ICEIC : International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .08

질화와 재산화 조건에 따른 모스 소자의 전기적 특성 변화 ( Electrical properties variations of Nitrided , Reoxided MOS devices by Nitridation & Reoxidation Condition )

이정석 ,  이용재

대한전자공학회 학술대회

1998 .07

질화와 재산화 조건에 따른 모스 소자의 전기적 특성변화

이정석 ,  이용재

대한전자공학회 학술대회

1998 .06

REOXIDATION법을 이용한 Si WAFER의 HOLE TRAP의 제거

홍순관 ,  주병권 ,  김철주

대한전기학회 학술대회 논문집

1987 .07

REOXIDATION법을 이용한 Si WAFER의 HOLE TRAP의 제거 ( Elimination of Hole Traps on Si Wafer Using Reoxidation Method )

홍순관 ,  주병권 ,  김철주

대한전자공학회 학술대회

1987 .07

Si$O_{2}/{Si}_{0.7}{Ge}_{0.3}/SiO_{2}$계에서의 계면응집현상에 의한 양자점 형성에 관한 연구

윤태식 ,  권장연 ,  이동훈 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

고분산 담지 금촉매 - I. 금의 첨가 효과 및 활성점 생성 -

안호근 ,  히로오 니이야마

공업화학

1994 .01

$SiO_2$ RF Power와 증착 시간 변화에 따른 고유전 $TiO_2-SiO_2$ 절연막의 특성

김성연 ,  함문호 ,  명재민

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

VSLI를 위한 플라즈마 열적 질산화막의 형성 ( Plasma Enhanced Thermal Nitridation of SiO2 for VLSI )

이재성 ,  이용현 ,  최시영 외 1명

전자공학회논문지

1989 .11

Electrical Characteristics of Thin Oxide Grown by High-Pressure Oxidation with Rapid Thermal Nitridation

노태문 ,  이대우 ,  송윤호 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Fabrication of All-Nb Josephson Junction Array Using the Self-Aligning and Reactive ion Etching Technique

Hong ,  Hyun-Kwon ,  Kim 외 6명

Progress in superconductivity

2001 .01

SiO₂/Si₃N₄ 2중층 박막의 유전특성

고길영 ,  김균식 ,  홍능표 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .07

다결정 Si/SiO₂ ∥ Si 적층구조에서 SiO₂층의 두께에 따른 유전특성의 변화

송오성 ,  이영민 ,  이진우

한국표면공학회지

2000 .08

Dielectric Barrier Discharge type 대기압 플라즈마 발생장치를 이용한 SiO₂ 식각에 관한 연구

오종식 ,  박재범 ,  길엘리 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .05

고분자전해질 연료전지용 Cu/Cr기 금속분리판의 내식성에 미치는 표면질화처리 효과

이혜연 ,  이석현 ,  김정헌 외 2명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2006 .11

Growth and Analysis of Intermediate SiO2 for the CeO2 / SiO2 Structure

김종걸 ,  한기평 ,  송인재 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01