Photo lithography공정에 의한 자연모사 기반 표면 패턴의 향균효과 연구

김미루 ,  이득우 ,  이승준 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2016 .04

0.18um 이하의 미세 Pattern 형성에 대한 Photo Lithography 기술

홍진석 ,  남동석 ,  이중현 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Ultra-extensive area symmetric block copolymer lithography enabled by I-line photo-lithography

진형민 ,  문형석 ,  정성준 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2012 .10

기하 광학적 Coma 성분 최적화를 통한 Photo Lithography 패턴 Contrast 향상에 관한 연구

이강해 ,  김종규

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2013 .05

ADVANCED LITHOGRAPHY

Tsuneo Te ,  asawa

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1995 .01

Lithography 기술과 Trend에 대한 고찰

조한구

전자공학회지

2001 .08

New Developments in 1 : 1 Optical Lithography

Hwan J. Jeong ,  Dave Ma ,  kle

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

E-Beam Lithography 기술

손상희 ,  곽계달

전자공학회잡지

1984 .10

X-ray Lithography Technology

황기웅

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

Optical Lithography at Low K Factors

Ha ,  y Sewell

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Lithography 기술 현황 및 향후 전망

전국진 ,  오혜근 ,  김성주

전자공학회지

1992 .05

E-beam Lithography ( Equipment )

박선우

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

Photo-lithography를 이용한 Dimple Texturing에 의한 1,400cc급 디젤엔진의 마찰토크 감소효과 평가

권혁우 ,  민준원 ,  이석준 외 1명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2018 .04

Quarter-Micron Lithography 개발 현황 및 향후 Advanced Lithography 기술 전개 방향

허훈

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

A Trend of Advanced Lithography Development

한오석 ,  이희국 ,  최민성

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

Fixing Lithography Hotspots on Routing without Timing Discrepancy

Joo Hyun Pa ,  k ,  Seung Weon Paek 외 5명

대한전자공학회 ISOCC

2009 .11

Roll mold용 180㎚ 급 대면적 (300㎜ × 900㎜) 패턴 제작

최수현 ,  김우영 ,  김석 외 1명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2020 .06

대면적 Lithography 장비의 Stage 설계에 대한 고찰

정준영 ,  이우영 ,  임경화 외 4명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2005 .01

마이크로패턴 정밀도 향상을 위한 Maskless Lithography 공정에 관한 연구

김운용 ,  임동욱 ,  김지훈 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .05

X-Ray Lithography With High Power Laser

Hong Jin Kong

대한전자공학회 워크샵

1991 .01