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이 논문의 연구 히스토리 (4)
1988
삼층레지스트 구조를 이용한 서브미크론 상층패턴 형성 ( Formation of Submicron Top Pattern by using Tri-Layer Resist Structure )
심규환
,
양전욱
,
이진희
외 2명
전자공학회논문지
1988.05
학술저널
다층레지스트 구조를 이용한 서브미크론 패턴 형성 연구 ( A Study on The Formation of Submicron Pattern Using Multi Layer Resist Structure )
심규환
,
최영규
,
양전욱
외 3명
특정연구 결과 발표회 논문집
1988.01
학술대회자료
다층레지스트 구조를 이용한 서브미크론 패턴 형성 연구 ( A Study on the Formation of Submicron Pattern Using Multi Layer Resist Structure )
심규환
,
최영규
,
양전욱
외 3명
한국통신학회 학술대회논문집
1988.01
학술대회자료
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다층레지스트 구조를 이용한 서브미크론 패턴 형성 연구 ( A Study on the Formation of Submicron Pattern Using Multi Layer Resist Structure )
한국통신학회 학술대회논문집
1988 .01
-
다층레지스트 구조를 이용한 서브미크론 패턴 형성 연구 ( A Study on The Formation of Submicron Pattern Using Multi Layer Resist Structure )
특정연구 결과 발표회 논문집
1988 .01
-
다층 레지스트 구조를 이용한 sub-μm 패턴 형성에 관한 연구 ( A Study on the Sub-μm Pattern Formation by using the Multi Layer Resist Structures )
대한전자공학회 학술대회
1987 .11
-
서브미크론 가공진직도 측정장치 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1999 .05
-
서브미크론 진직도 측정장치 개발
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2000 .05
-
서브 미크론의 패턴으로 구성된 고효율 회절 렌즈 몰드 제작
대한기계학회 춘추학술대회
2010 .04
-
단층 RESIST의 미세패턴 형성 기술 ( Submicron Technology of Single Layer Photo-Resist )
대한전자공학회 학술대회
1988 .07
-
다층 레지스트 구조를 위한 하층 레지스트의 최적화 ( OPTIMIZATION OF BOTTOM LAYER RESIST FOR MLR PROCESS )
대한전자공학회 학술대회
1987 .11
-
3층 레지스트 구조에서 하층 레지스트의 광 흡수 및 건식 식각 특성 ( The Light Absorption and Dry Etch Characteristics of the Bottom Resist in Trilevel Resist Structure )
대한전자공학회 학술대회
1985 .01
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전자빔 네가티브 레지스트의 건식현상에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1994 .11
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단층RESIST의 미세패턴형성기술
대한전기학회 학술대회 논문집
1988 .07
-
Optical Resist Process Technology for Deep-Submicron Patterning
대한전자공학회 워크샵
1991 .01
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미세패턴 형성을 위한 무기질 / 폴리머 이중층 레지스트 구조의 특성 ( Inorganic Resist / Polymer Bilevel Scheme for Micro-Pattern Delineation )
대한전자공학회 학술대회
1989 .01
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Electrical properties and thermal stability of Al/$WN_x$/Ti submicron contact structure
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2002 .01
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단열층을 이용한 광디스크 기판의 서브 미크론 성형에 대한 수치 해석
소성·가공
2004 .02
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SUBMICRON DEVICE RELIABILITY RESEARCH
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1989 .01
-
Submicron Gate Structure의 신뢰성 및 노화현상에 관한 연구 ( Reliability and Degradation Phenomena of Submicron Gate Structure )
특정연구 결과 발표회 논문집
1989 .01
-
Submicron Gate Structure의 신뢰성 및 노화현상에 관한 연구 ( Reliability and Degradation Phenomena of Submicron Gate Structure )
한국통신학회 학술대회논문집
1989 .01
-
Submicron 이미지 분석을 이용한 수화물 분석방법
콘크리트학회지
2019 .05
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Submicron 소자를 위한 고속열처리 공정 ( Rapid Thermal Processing for Submicron Devices )
특정연구 결과 발표회 논문집
1988 .01
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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-569-013259639