다층 레지스트 구조를 이용한 sub-μm 패턴 형성에 관한 연구 ( A Study on the Sub-μm Pattern Formation by using the Multi Layer Resist Structures )

심규환 ,  이진희 ,  강진영 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

3층 레지스트 구조에서 하층 레지스트의 광 흡수 및 건식 식각 특성 ( The Light Absorption and Dry Etch Characteristics of the Bottom Resist in Trilevel Resist Structure )

황영모 ,  이진희 ,  최영규 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

전자빔 네가티브 레지스트의 건식현상에 관한 연구

박종관 ,  박상근 ,  조성욱 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1994 .11

다층레지스트 구조를 이용한 서브미크론 패턴 형성 연구 ( A Study on the Formation of Submicron Pattern Using Multi Layer Resist Structure )

심규환 ,  최영규 ,  양전욱 외 3명

한국통신학회 학술대회논문집

1988 .01

다층레지스트 구조를 이용한 서브미크론 패턴 형성 연구 ( A Study on The Formation of Submicron Pattern Using Multi Layer Resist Structure )

심규환 ,  최영규 ,  양전욱 외 3명

특정연구 결과 발표회 논문집

1988 .01

고집적 반도체 미세 가공용 레지스트

안광덕

고분자 과학과 기술

1990 .11

고집적 반도체 미세가공용 레지스트

안광덕

전자공학회잡지

1984 .10

플라즈마중합막의 제작과 레지스트 특성에 관한 연구

李德出 ,  朴鍾官 ,  韓相玉 외 2명

전기학회논문지

1994 .05

삼층레지스트 구조를 이용한 서브미크론 상층패턴 형성 ( Formation of Submicron Top Pattern by using Tri-Layer Resist Structure )

심규환 ,  양전욱 ,  이진희 외 2명

전자공학회논문지

1988 .05

UV 레지스트용 노블락 수지의 특성

김지홍 ,  서동철 ,  이승화 외 4명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1992 .04

원자외선 미세가공용 레지스트 재료 ( Resist Materials for Deep UV Lithography )

안광덕

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

Elememtwise Patterned Stamp와 부가압력을 이용한 UV 나노임프린트 리소그래피 공정

손현기 ,  정준호 ,  심영석 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2004 .05

G-선 웨이퍼 스테퍼를 이용한 레지스트 공정 연구 ( Positive Resist Processing Using a G-line Wafer Stepper )

이재신 ,  박종문 ,  최창억 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

플라즈마 중합법에 의해 제작된 폴리스틸렌의 레지스트 특성 조사(Ⅱ)

정순용 ,  진경시 ,  김득연 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1994 .07

미세패턴 형성을 위한 무기질 / 폴리머 이중층 레지스트 구조의 특성 ( Inorganic Resist / Polymer Bilevel Scheme for Micro-Pattern Delineation )

엄정호 ,  허훈 ,  정홍배

대한전자공학회 학술대회

1989 .01

N - Tosyloxymaleimide 공중합체의 산발생 특성과 레지스트 응용

구덕일 ,  정찬문 ,  안광덕

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1993 .10

ArF용 레지스트에 사용 가능한 Alicyclic group을 함유한 공중합체의 합성

김춘기 ,  김동국 ,  허정림

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1998 .10

ArF 엑사이머 레이저용 화학증폭형 새로운 실리콘계 레지스트의 합성과 응용

이해승 ,  강준원 ,  한양규 외 2명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1997 .04

플라즈마중합법에 의한 폴리스티렌의 분자구조 제어 및 레지스트 특성 조사

朴鍾官 ,  金永鳳 ,  金輔烈 외 2명

전기학회논문지

1996 .03

실리콘 함유 말레이미드 단량체의 합성과 공중합 및 레지스트 특성

정찬문 ,  김상태 ,  안광덕

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1995 .10