< 100 > 방향 실리콘 단결정에서의 저 에너지 붕소 이온 주입 공정에 대한 3차원 몬테 카를로 시뮬레이션 및 마스크 효과 ( Three-dimensional Monte Carlo Simulation and Mask Effect of Low-Energy Boron Ion Implantation into < 100 > Single-Crystal Silicon )

손명식; 이준하; 송영진; 황호정

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자료유형: 학술저널

저자정보: 손명식 이준하 송영진 황호정

저널정보: 대한전자공학회 전자공학회논문지-A 전자공학회논문지 A편 제32권 제8호

발행연도: 1995.8

수록면: 1,084 - 1,096 (8page)

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2001

ULSI급 CMOS 소자 특성 분석을 위한 몬테 카를로 이온 주입 공정 시뮬레이션시의 효율적인 가상 이온 발생법

손명식 , 이진구 전자공학회논문지-SD 2001.11 학술저널

1998

연속 이온 주입 공정 모델링 및 시뮬레이션

손명식 , 박수현 , 황호정 대한전자공학회 학술대회 1998.11 학술대회자료

연속 이온 주입 공정 모델링 및 시뮬레이션 ( Modeling and Simulation of Multiple Implantation Process )

손명식 , 박수현 , 황호정 대한전자공학회 학술대회 1998.11 학술대회자료

3차원 몬테 카를로 이온 주입 공정 모델링 및 시뮬레이션 : 효율적인 가상 궤적 발생 알고리듬 ( Three-Dimensional Monte Carlo Modeling and Simulation of Ion Implantation Process : an Efficient Virtual Trajectory Split Approach )

손명식 , 황호정 전자공학회논문지-D 1998.03 학술저널

1997

단결성 〈100〉GaAs 기판에서의 3차원 이온 주입 공정 모델링 및 시뮬레이션

손명식 , 황호정 대한전자공학회 학술대회 1997.11 학술대회자료

단결정 ＜ 100 ＞ GaAs 기판에서의 3차원 이온 주입공정 모델링 및 시뮬레이션 ( A Three-Dimensional Monte Carlo Modeling and Simulation of Ion Implementation Into 〈 100 〉 Single-Crystal GaAs )

손명식 , 황호정 대한전자공학회 학술대회 1997.11 학술대회자료

ULSI CMOS 공정 기술 개발 및 제조를 위한 물리적 토대의 3차원 이온 주입 공정 모델링 및 시뮬레이션 ( Physically-Based Three-Dimensional Implant Modeling and Simulation for ULSI CMOS Process Technology Development and Manufacturing )

손명식 , 황호정 대한전자공학회 학술대회 1997.07 학술대회자료

3차원 몬테 카를로 이온주입 공정 모델링 : 3차원 잡음 영역을 최소화하기 위한 효율적인 가상 궤적 발생 알고리듬 ( Three-Dimensional Monte Carlo Modeling of Ion Implantation : Development of an Efficient 3D Virtual Trajectory Split Algorithm )

손명식 , 황호정 대한전자공학회 학술대회 1997.07 학술대회자료

3차원 몬테 카를로 이온 주입 공정 모델링 : 3차원 잡음 영역을 최소화하기 위한 효율적인 가상 궤적 발생 알고리듬

손명식 , 황호정 대한전자공학회 학술대회 1997.06 학술대회자료

이온 주입 시의 점결함 발생과 재결합에 관한 3차원 몬테 카를로 모델링 및 시뮬레이션 ( Three - Dimensional Monte Carlo Modeling and Simulation of Point Defect Generation and Recombination During Ion Implantation )

손명식 , 황호정 전자공학회논문지-D 1997.05 학술저널

Three-Dimensional Full-Dynamic Damage Model for Ion Implantation into Crystalline Silicon

손명식 , 황호정 대한전자공학회 학술대회 1997.01 학술대회자료

1996

단결정 실리콘에서의 3차원 몬테 카를로 이온 주입 모델링 : 완전 역동 손상 모델 ( Three-Dimensional Monte CArlo Modeling of Ion Implantation Into Crystalline Silicon : Full Dynamic DAmage Model )

손명식 , 송영진 , 황호정 대한전자공학회 학술대회 1996.11 학술대회자료

Monte Carlo Calculation of Implanted Boron and its Generating Point Defect Distributions in Crystalline Silicon

손명식 , 이준하 , 변기량 외 1명 대한전자공학회 학술대회 1996.01 학술대회자료

1995

Monte Carlo 시뮬레이션을 이용한 단결정 실리콘에서의 이온 주입 불순물 농도 분포 및 점결함 분포의 계산

손명식 , 이준하 , 변기량 외 1명 대한전자공학회 학술대회 1995.12 학술대회자료

Monte Carlo 시뮬레이션을 이용한 단결정 실리콘에서 이온주입 불순물 농도 분포 및 점결함 분포의 계산 ( Monte Carlo Calculation of particle and Point Defect Distributions for Ion-Implanted Dopant in Crystalline Silicon )

손명식 , 이준하 , 변기량 외 1명 대한전자공학회 학술대회 1995.11 학술대회자료

< 100 > 방향 실리콘 단결정에서의 저 에너지 붕소 이온 주입 공정에 대한 3차원 몬테 카를로 시뮬레이션 및 마스크 효과 ( Three-dimensional Monte Carlo Simulation and Mask Effect of Low-Energy Boron Ion Implantation into < 100 > Single-Crystal Silicon )

손명식 , 이준하 , 송영진 외 1명 전자공학회논문지-A 1995.08 학술저널

저 에너지 Boron 이온 주입 공정에 대한 3차원 Monte Carlo 시뮬레이션

손명식 , 권오근 , 이준하 외 2명 대한전자공학회 학술대회 1995.01 학술대회자료

1994

단결정 실리콘 <100> 에서의 저 에너지 Born 주입을 위한 3차원 Monte Carlo 시뮬레이션

손명식 , 이준하 , 박화식 외 1명 대한전자공학회 학술대회 1994.11 학술대회자료

단결정 실리콘 < 100 > 에서의 저 에너지 Boron 주입을 위한 3차원 Monte Carlo 시뮬레이션 ( A Three-dimensional Monte Carlo simulation of Low-Energy Boron implantation into < 100 > single-Crystal silicon )

손명식 , 이준하 , 박화식 외 1명 대한전자공학회 학술대회 1994.11 학술대회자료

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소속기관 대한전자공학회

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전자공학

논문수 27 이용수 230

송영진

소속기관 건양대학교

주요연구분야 공학 > 공학 일반 공학 > 전기전자공학 > 전자공학

논문수 23 이용수 697

황호정

소속기관 중앙대학교

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논문수 148 이용수 1,551

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