Atomic Layer Epitaxy 법에 의한 TiN 박막의 성장과 그 특성

이종화 ,  김동진 ,  이명복 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1998 .11

Atomic Layer Epitaxy 법에 의한 TiN 박막의 성장과 그 특성 ( Growth and Characteristics of TiN Thin Films by Atomic Layer Epitaxy )

이종화 ,  김동진 ,  이명복 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1998 .11

원자층 증착법으로 형성한 TiN 박막의 특성 연구

이준우 ,  전형탁

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

유기소스 원자층 증착법으로 증착된 TiN 박막의 특성 연구

박진용 ,  김주연 ,  서상원 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

이온빔보조증착에 의한 TiN 박막의 특성

정재인 ,  박형국 ,  문종호 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1998 .05

경사 증착법으로 제조된 TiN 박막의 특성 연구

장승현 ,  양지훈 ,  박혜선 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2010 .11

이온빔 보조 증착에 의한 TiN 박막의 특성

김상현 ,  김대현

한국안광학회지

2004 .04

플라즈마 잠김 이온주입 및 증착법으로 제작된 TiN 박막의 특성에 관한 연구

김광훈 ,  S.A. Nikifo ,  ov 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2001 .07

빗각 증착으로 제조된 TiN 박막의 특성

정재훈 ,  양지훈 ,  박혜선 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2011 .11

TiN 에 대한 W의 부착특성에 관한 연구(l)

이종무 ,  권난영 ,  손재현 외 1명

한국재료학회지

1993 .01

빗각 증착으로 제조된 다층 TiN 박막의 특성

정재훈 ,  양지훈 ,  박혜선 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .05

경사코팅 증착법으로 코팅된 TiN 박막의 특성 연구

송민아 ,  양지훈 ,  정재훈 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2014 .05

TiN Barrier Layer 위에 금속유기화학증착법에 의해 제조된 구리박막의 증착특성에 관한 연구

윤수식 ,  이성권 ,  민재식 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

Ti/TiN/Ti buffer layer/TiN 구조를 갖는 TiN 박막의 충격마모특성에 관한 연구

김광석 ,  김범석 ,  이상율

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2001 .11

스퍼터링 증착조건이 TiN막의 마모특성에 미치는 영향 ( The Effect of Sputtering Deposition Conditions on Tribological Characteristics of TiN films )

류준옥 ,  유재욱 ,  임대순

Tribology and Lubricants

1995 .03

빗각 증착으로 제조된 TiN 박막의 특성

정재훈 ,  양지훈 ,  박혜선 외 2명

한국표면공학회지

2012 .06

The Fabrication of Tin Oxide Films by Atomic Layer Deposition using Tetrakis(Ethylmethylamino) Tin Precursor

최운섭

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2009 .01

TiN피막의 경도 및 구조적 특성에 미치는 화학증착 조건의 영향

申宗勳 ,  李性來 ,  白瑩鉉

한국표면공학회지

1987 .09