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원자층 증착법으로 형성한 TiN 박막의 특성 연구
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
ALE 법에 의한 TiN 박막의 증착 및 특성 ( Deposition and Characteristics of TiN Thin Films by Atomic Layer Epitaxy )
전자공학회논문지-SD
2000 .06
이온빔보조증착에 의한 TiN 박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1998 .05
TiN Barrier Layer 위에 금속유기화학증착법에 의해 제조된 구리박막의 증착특성에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1993 .01
경사 증착법으로 제조된 TiN 박막의 특성 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2010 .11
R&D용 소형 원자층 증착 시스템 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .12
플라즈마 원자층 증착법으로 증착시킨 TiN 박막을 통한 CIGS 태양전지에서의 Selenium 확산 방지 평가
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2014 .05
원자층 증착 방법으로 증착된 실리콘 질화막의 특성
한국재료학회 학술발표대회
2002 .01
플라즈마 잠김 이온주입 및 증착법으로 제작된 TiN 박막의 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2001 .07
빗각 증착으로 제조된 TiN 박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2011 .11
빗각 증착으로 제조된 다층 TiN 박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2012 .05
경사코팅 증착법으로 코팅된 TiN 박막의 특성 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2014 .05
Cycle-CVD법으로 증착된 TiN 박막의 ALD 증착기구와 특성에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
시분할 화학증착장치를 이용한 TiN 박막의 성장과 특성
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
이온빔 보조 증착에 의한 TiN 박막의 특성
한국안광학회지
2004 .04
스퍼터링 증착조건이 TiN막의 마모특성에 미치는 영향 ( The Effect of Sputtering Deposition Conditions on Tribological Characteristics of TiN films )
Tribology and Lubricants
1995 .03
Advanced atomic layer deposition of ultrathin metal films
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .11
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