지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
등록된 정보가 없습니다.
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
R&D용 소형 원자층 증착 시스템 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .12
플라즈마 화학증착 법에 의한 질화탄화규소의 박막증착
한국에너지학회 학술발표회
2014 .11
유기소스 원자층 증착법으로 증착된 TiN 박막의 특성 연구
한국재료학회 학술발표대회
2002 .01
유량 변화에 따른 원자층 증착 장비 내부 유동특성 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2019 .11
The Properties of ZrO2 Film Deposition by ALD at Low Temperature
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2017 .10
Surface Chemistry Modification for Developing Atomic Layer Deposition Process for the 2D Material and Thin Film Deposition on 2D Materials
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .11
Multi-functional layer coating on nanoparticles via atomic-layer-deposition
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .11
ECR 플라즈마를 이용한 실리콘질화박막 증착
한국표면공학회지
1990 .12
Formation of Anti-reflection structure grown by atomic layer deposition
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2017 .05
소형 원자층 증착 장치
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
질화실리콘막을 사용한 표면보호층 구조에 관한 연구 ( Passivation Layer Structures with a Silicon Nitride Film )
전자공학회지
1985 .11
원자층 증착법으로 형성한 TiN 박막의 특성 연구
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
낮은 소스전력-펄스플라즈마를 이용하여 증착한 실리콘 나이트라이드 박막 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2010 .11
원자층 증착 방법에 의한 silicon oxide 박막 특성에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
2003 .01
플라즈마 원자층 증착법을 이용한 구리배선용 텅스텐 나이트라이드 확산 방지막의 특성평가
한국산학기술학회 학술대회논문집
2004 .11
상압 기반의 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2016 .12
원자층 증착법을 이용하여 투명 Polymide 필름에 증착된 Al₂O₃ / ZnO 다층박막의 표면특성 평가
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
반도체 ALD 공정에서의 질화규소 증착 수치해석
대한기계학회 춘추학술대회
2007 .05
0