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R&D용 소형 원자층 증착 시스템 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .12
입자 코팅이 가능한 소형 및 저가형 원자층 증착 장비
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
기능성 박막 코팅용 소형 원자층 증착 장비
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .05
분말 입자 코팅을 위한 초음파 원자층 증착
한국자동차공학회 추계학술대회 및 전시회
2022 .11
Formation of Anti-reflection structure grown by atomic layer deposition
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2017 .05
The Properties of ZrO2 Film Deposition by ALD at Low Temperature
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2017 .10
유량 변화에 따른 원자층 증착 장비 내부 유동특성 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2019 .11
Surface Chemistry Modification for Developing Atomic Layer Deposition Process for the 2D Material and Thin Film Deposition on 2D Materials
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .11
Atomic Layer Deposition for Electrochemical Applications
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2020 .12
Graphene Oxide 막의 염 제거율 및 안정성 증대를 위한 원자층증착법(Atomic Layer Deposition) 적용 및 평가
대한환경공학회 학술발표논문집
2018 .11
원자층 박막 증착법을 이용한 리튬 박막 제작
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
원자적층법(Atomic Layer Deposition) 증착 조건에 따른 ZnO 박막의 특성 변화 확인
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .10
소형 원자층 증착 장치
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
Advanced atomic layer deposition of ultrathin metal films
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .11
플라즈마 원자층 증착 기술의 최근 동향 및 이슈
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2022 .06
상온 ALD-MLD 공정을 이용한 산화알루미늄 - 폴리우레아 유무기 복합 유연 봉지 박막 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .11
원자층 증착법으로 증착한 HfAlO 박막의 패시베이션 특성 연구
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2022 .04
소수성 코팅을 위한 원자층 증착 희토류 금속산화물
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .11
Low-resistivity Molybdenum Nitride Thin Films Deposited by Atomic Layer Deposition
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2022 .11
공간 분할형 상압 원자층 증착 시스템 개발
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2017 .04
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