유한요소해석을 통한 Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition 장비 유동 가시화 연구

전준혁 ,  윤성호 ,  이세준 외 4명

대한기계학회 춘추학술대회

2020 .07

R&D용 소형 원자층 증착 시스템 개발

김민식 ,  한권덕 ,  최형종 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2018 .12

Atomic Layer Deposition for Electrochemical Applications

권세훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2020 .12

유량 변화에 따른 원자층 증착 장비 내부 유동특성 연구

최원준 ,  홍경표 ,  최예린 외 4명

대한기계학회 춘추학술대회

2019 .11

소형 원자층 증착 장치

한권덕 ,  박석원 ,  최형종 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

The Properties of ZrO₂ Film Deposition by ALD at Low Temperature

양병찬 ,  신정우 ,  권혁동 외 1명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2017 .10

Formation of Anti-reflection structure grown by atomic layer deposition

Yong Tae Kim ,  Jaeyeong Heo

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2017 .05

원자층 박막 증착법을 이용한 리튬 박막 제작

최윤성 ,  심준형

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

플라즈마 강화 원자층 증착을 이용한 직접 메탄 연료 고체산화물용 가스 전극 표면 개질

김형준 ,  김대현 ,  조성은 외 3명

대한기계학회 춘추학술대회

2024 .11

Graphene Oxide 막의 염 제거율 및 안정성 증대를 위한 원자층증착법(Atomic Layer Deposition) 적용 및 평가

김태남 ,  안지훈 ,  이지은 외 3명

대한환경공학회 학술발표논문집

2018 .11

플라즈마 원자층 증착법을 통한 TiN 코팅 인서트 팁의 내구성 향상 기술 개발

신정우 ,  이재형 ,  박동혁 외 3명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2021 .07

플라즈마 원자층 증착을 이용한 TiO₂ thin film 굴절율 최적화

성준화 ,  양영환 ,  노준석

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2021 .07

원자적층법(Atomic Layer Deposition) 증착 조건에 따른 ZnO 박막의 특성 변화 확인

홍민표 ,  김경민 ,  송용남

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .10

공간 분할형 상압 원자층 증착 시스템 개발

이재욱 ,  김현범 ,  양성욱 외 2명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2017 .04

입자 코팅이 가능한 소형 및 저가형 원자층 증착 장비

이재혁 ,  최형종 ,  한권덕 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .10

플로팅 다중 전극을 이용한 초고주파 (162 ㎒) 플라즈마 원자층 증착에 관한 연구

You Jin Ji ,  Haein Kim ,  Ki Hyun Kim 외 7명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2022 .06

상압 기반의 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템 개발

김효태 ,  최경현 ,  양영진 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2016 .12

Multi-functional layer coating on nanoparticles via atomic-layer-deposition

홍성환 ,  장은용 ,  박태주

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .11

플라즈마 원자층 증착법을 이용한 Pt/Cu 복합촉매 제작 및 전기화학적 분석

김성지 ,  심준형

대한기계학회 춘추학술대회

2021 .05

고분자전해질 연료전지의 성능향상을 위한 플라즈마 원자층 박막 증착법을 이용한 Pt/Ni 복합촉매 제작

최재호 ,  심준형

한국자동차공학회 추계학술대회 및 전시회

2022 .11