플로팅 다중 전극을 이용한 초고주파 (162 ㎒) 플라즈마 원자층 증착에 관한 연구

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저자정보: You Jin Ji (Sungkyunkwan University) Haein Kim (Sungkyunkwan University) Ki Hyun Kim (Sungkyunkwan University) Ji Eun Kang (Sungkyunkwan University) Seong Jae Yu (Sungkyunkwan University) Albert Rogers Ellingboe (Dublin City University) Dong Woo Kim (Sungkyunkwan University) Geun Young Yeom (Sungkyunkwan University)

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#초고주파 #플라즈마 #다중 분할 전극 #SiNx #PEALD

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2023-581-000183446

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상세 메타 데이터	발행기관 메타	발행기관 이명, 영문명, 창립연도, 홈페이지URL, 발행기관 소개
	간행물 메타	부제목, 간행물 유형, ISSN, ISBN, 최초발행연도, 폐간연도, 간행빈도, 발행주기, 등재사항, 이용수, 피인용수, 권호수, 논문수, 표지이미지
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	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

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