A Study on Mechanical and Electrical Properties of PEALD TiN Thin Films through Plasma Parameter Control

Chansong Kwon; Young Bin Park; 정재윤; Jeong Woo Shin; Jihwan An; Hyo-Sok Ahn

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저자정보: Chansong Kwon (서울과학기술대학교) Young Bin Park (서울과학기술대학교) 정재윤 (서울과학기술대학교) Jeong Woo Shin (서울과학기술대학교) Jihwan An (서울과학기술대학교) Hyo-Sok Ahn (서울과학기술대학교)

저널정보: 한국트라이볼로지학회 한국트라이볼로지학회 학술대회 2021년도 한국트라이볼로지학회 제71회 추계학술대회

발행연도: 2021.10

수록면: 215 - 216 (2page)

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#Titanium Nitride(TiN) #Adhesion #Resistivity #Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition(PEALD)

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