반응성 RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 질화티타늄 박막 특성

전영길

공학기술논문지

2024 .09

DC 스퍼터링과 HIPIMS로 제조한 TiN 박막의 특성 비교

변인섭 ,  양지훈 ,  정재훈 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2016 .11

HiPIMS와 DC 스퍼터링으로 제조한 TiN 박막 특성

양지훈 ,  변인섭 ,  김성환 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2017 .05

직류 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 은 박막에서의 산소 검출에 관한 연구

곽동열 ,  조승범 ,  강동찬 외 3명

비파괴검사학회지

2018 .10

Influence of Microstructure on the Electrical Properties of Heteroepitaxial TiN Films

WenFeng Xiang ,  Yuan Liu ,  JiaQi Zhang

Electronic Materials Letters

2018 .01

이원 동시 마그네트론 스퍼터링법으로 제조한 비정질 ITZO 박막의 열전 특성

이호윤 ,  김서한 ,  송풍근

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .11

이원 동시 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 Zn doped ITO 박막의 열전 특성

이호윤 ,  김서한 ,  윤장희 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .05

마그네트론 스퍼터링법을 이용한 Zn 나노 구조 제어

이원지 ,  윤성호 ,  김안나 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .06

스퍼터링 장치의 전극 구성에 따른 박막 특성 분석

변진용 ,  허윤성

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .12

디스플레이 확산 방지층 응용을 위한 비대칭 마그네트론 스퍼터로 증착된 질화 티타늄 박막의 특성에 대한 연구

박용섭

전기전자재료학회논문지

2019 .01

Pulsed DC 마그네트론 스퍼터링 공정 변수에 따른 SiO₂, TiO₂ 광학 박막의 특성

김동원 ,  김도희 ,  양지혜 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .05

마그네트론 스퍼터링 증착법을 사용하여 순수한 질소 플라즈마에 의해 성막된 고경도 TiNX 박막의 역학적 특성

이창현 ,  이병로 ,  배강 외 2명

전기전자재료학회논문지

2017 .08

스퍼터링 질화탄소 박막의 트라이볼로지 및 전기적 특성의 기판 온도 영향

박찬일

전기전자재료학회논문지

2021 .01

원통형 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착한 티타늄 박막의 특성

성기웅

한국에너지학회 학술발표회

2016 .10

DC 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 비정질 IZO:Sn 박막의 열전 특성

이호윤 ,  변자영 ,  김서한 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .05

DC 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 IZO 및 ITO 박막의 열전 특성

변자영 ,  김주은 ,  유기태 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2016 .05

수전해 양극판의 부식 저항성 향상을 위해 반응성 스퍼터링을 이용한 TiN 박막 제작

김형민 ,  홍순욱

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .11

Pulsed DC Power Magnetron Sputter System을 사용한 Copper 박막 특성 조절

김도한 ,  이수정 ,  김태형 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2017 .05

스퍼터링법에 의해 증착된 알루미늄 박막의 전기적⋅구조적 특성에 관한 연구

김도영

전기전자재료학회논문지

2020 .01

Pulsed DC 마그네트론 스퍼터링으로 제조된 다층 광학박막의 특성

김동원

한국표면공학회지

2019 .08