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Pulsed DC 마그네트론 스퍼터링으로 제조된 다층 광학박막의 특성
한국표면공학회지
2019 .08
Pulsed DC 마그네트론 스퍼터링 공정 변수에 따른 SiO₂, TiO₂ 광학 박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .05
A Study on the standardize the characteristic evaluation of DC magnetron sputtered silver coatings for engineering purposes
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .11
스퍼터링 장치의 전극 구성에 따른 박막 특성 분석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
DC/RF 마그네트론 스퍼터링법을 이용한 TiO2/Ag/TiO2 하이브리드 다층박막의 적외선 반사 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2016 .11
DC Magnetron Sputter Plasma 균일도 향상을 위한 자석배열 최적화
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2021 .12
Real-time monitoring for detecting an abnormal arc discharge in DC magnetron sputter using OES
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2020 .10
Pulsed DC 마그네트론 스퍼터링으로 제조된 SiO₂, Nb₂O5 광학 박막의 미세구조에 따른 광학적 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .05
Deposition of IGZO thin film using DC and ICP at magnetron sputtering system
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .05
Development of High Entropy Alloy Film using Magnetron Sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .06
Pulsed DC 마그네트론 스퍼터링으로 제조한 소다라임 유리의 고투과 및 대전방지 박막특성 연구
한국표면공학회지
2022 .12
디스플레이용 DC Magnetron Sputter에서 플라즈마 균일도 향상을 위한 기판전극 형상 설계
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2021 .12
디스플레이 제조용 DC Magnetron Sputter의 금속 박리 억제를 위한 Floating Mask 구조 설계
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2019 .11
Pulsed Load에서 DC/DC컨버터의 출력필터 구현
대한전자공학회 학술대회
2019 .11
Pulsed DC 마그네트론 스퍼터링으로 제조된 TiO₂/SiO₂ 광학 필터의 미세구조에 따른 광학적 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2020 .06
DC 펄스 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 TiO₂ 박막의 특성변화에 관한 연구
한국표면공학회지
2015 .04
국부적인 자기장 제어를 통한 대면적 DC Magnetron Sputtering 의 플라즈마 고밀도 균일화
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2024 .11
Control uniformity of plasma on target of DC magnetron sputter based on magnetic field simulation
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
DC 스퍼터법과 비대칭 바이폴라 펄스 DC 스퍼터법으로 증착된 NbN 코팅막의 물성 비교연구
한국표면공학회지
2015 .08
디스플레이용 DC Magnetron Sputter의 타겟 효율 향상을 위한 자기장 시뮬레이션 및 차폐체 배열 설계
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
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