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A Study on the standardize the characteristic evaluation of DC magnetron sputtered silver coatings for engineering purposes
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .11
향상된 산소 환원 반응을 위한 RF/DC 스퍼터링 방법을 이용한 저온형 고체산화물 연료전지 제조
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
Pulsed DC Power Magnetron Sputter System을 사용한 Copper 박막 특성 조절
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2017 .05
반응성 RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 TiNx 상온 성막에 있어서 기판 상의 펄스상 직류 바이어스 인가 효과
한국표면공학회지
2019 .12
DC Magnetron Sputter Plasma 균일도 향상을 위한 자석배열 최적화
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2021 .12
Real-time monitoring for detecting an abnormal arc discharge in DC magnetron sputter using OES
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2020 .10
DC/RF 중첩형 반응성 스퍼터링을 이용하여 증착한 열변색 VO₂ 박막의 특성연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2022 .11
PET 기판 위에 RF magnetron sputtering으로 증착한 AZO 박막의 구조적, 광학적, 전기적 특성
반도체디스플레이기술학회지
2016 .01
디스플레이용 DC Magnetron Sputter에서 플라즈마 균일도 향상을 위한 기판전극 형상 설계
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2021 .12
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 전기변색 박막의 물성평가
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .05
Deposition of IGZO thin film using DC and ICP at magnetron sputtering system
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .05
RF 마그네트론 스퍼터링 증착 압력변화에 따른 SnS 박막의 구조적, 광학적 특성 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .05
RF sputter를 이용한 실리카 증착 고 내구성 반사 방지막 제조
한국표면공학회지
2019 .04
증착 후 진공열처리에 따른 SnO<sub>2</sub> 박막의 특성 변화
열처리공학회지
2016 .01
디스플레이 제조용 DC Magnetron Sputter의 금속 박리 억제를 위한 Floating Mask 구조 설계
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2019 .11
Development of High Entropy Alloy Film using Magnetron Sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .06
RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 증착된 CuS 박막의 구조적 및 광학적 특성에 대한 스퍼터링 전력의 영향
Current Photovoltaic Research
2020 .03
RF magnetron sputtering으로 증착한 IGZO 박막의 RF power에 따른 구조적, 광학적 및 전기적 특성 연구
반도체디스플레이기술학회지
2016 .01
Reactive DC Sputtering으로 증착한 Smart window용 TiO₂의 전기변색적 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .11
RF 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 리튬 이온 이차전지 양극용 바나듐 옥사이드 박막에 관한 연구
한국산학기술학회 논문지
2019 .06
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