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이용수
ABSTRACT
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
References
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RF 마그네트론 스퍼터링법으로 성장시킨 CuS 박막의 구조적 및 광학적 특성
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2020 .02
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 FeS₂ 박막의 구조적 및 광학적 특성에 대한 RF 파워의 영향
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2018 .11
RF 마그네트론 스퍼터링 증착 압력변화에 따른 SnS 박막의 구조적, 광학적 특성 연구
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반응성 RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 TiNx 상온 성막에 있어서 기판 상의 펄스상 직류 바이어스 인가 효과
한국표면공학회지
2019 .12
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 전기변색 박막의 물성평가
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2015 .05
RF 마그네트론 스퍼터링으로 제조한 SnS 박막의 구조적 및 광학적 특성에 대한 열처리 효과
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .11
RF Sputtering 방법으로 증착된 배향막용 SiO₂ 박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .05
RF 마그네트론 스퍼터링 법으로 제작한 ITZO 박막의 구조 및 광학적 특성
한국표면공학회지
2015 .12
탄소섬유 물리적 특성 향상을 위한 스퍼터링 탄소박막의특성에 대한 연구
전기전자재료학회논문지
2015 .01
RF 마그네트론 스퍼터링을 이용한 박막 증착에 관한 연구
한국정보전자통신기술학회 논문지
2018 .12
RF magnetron sputtering으로 증착한 IGZO 박막의 RF power에 따른 구조적, 광학적 및 전기적 특성 연구
반도체디스플레이기술학회지
2016 .01
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 성장 된 SnS 박막의 구조적 및 광학적 특성에 대한 증착 압력의 영향
Current Photovoltaic Research
2020 .03
PET 기판 위에 RF magnetron sputtering으로 증착한 AZO 박막의 구조적, 광학적, 전기적 특성
반도체디스플레이기술학회지
2016 .01
Dependence of the Generation Behavior of Charged Nanoparticles and Ag Film Growth on Sputtering Power during DC Magnetron Sputtering
Electronic Materials Letters
2021 .01
스퍼터링 장치의 전극 구성에 따른 박막 특성 분석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
Sputtering 방법으로 증착된 다이아몬드 상 탄소 박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .05
Physical Properties of Sputter-deposited Al-C Thin Films
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .06
DC/RF 마그네트론 스퍼터링법을 이용한 TiO2/Ag/TiO2 하이브리드 다층박막의 적외선 반사 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2016 .11
RF 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 리튬 이온 이차전지 양극용 바나듐 옥사이드 박막에 관한 연구
한국산학기술학회 논문지
2019 .06
RF Magnetron Sputtering 증착법을 이용한 TiO₂/SiO₂/ZrO₂ 박막 특성 연구
한국안광학회지
2019 .09
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