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Effects of sputtering power, working pressure, and electric bias on the deposition behavior of Ag films during DC magnetron sputtering considering the generation of charged flux
Electronic Materials Letters
2022 .01
Physical Properties of Sputter-deposited Al-C Thin Films
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .06
Sputtering 방법으로 증착된 다이아몬드 상 탄소 박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .05
Electrical Properties and Microstructures in Ti Films Deposited by TFT dc Sputtering
한국재료학회지
2016 .01
스퍼터링 장치의 전극 구성에 따른 박막 특성 분석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
투명전도성 박막의 활용을 위한 스퍼터링 증착 기술과 전망
전기전자재료학회논문지
2023 .03
RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 증착된 CuS 박막의 구조적 및 광학적 특성에 대한 스퍼터링 전력의 영향
Current Photovoltaic Research
2020 .03
Effect of RF Sputtering Power on the Electrical Properties of Si–In–Zn–O Thin Film Transistors
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2019 .01
Sputtering 방법에 의하여 증착된 Si₃N₄ 기체 투과 방지 박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .11
RF-diode Sputtering법으로 제작한 Co박막의 자기특성과 미세구조
한국재료학회지
2018 .01
스퍼터링으로 제작된 Ag-Ti 이중층 박막의 특성 평가
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .11
스퍼터링을 이용한 바나듐 합금 박막화에 관한 연구
화학공학
2016 .01
동일 물질 타겟의 Co-sputtering 을 통해 제작한 고내구성 박막 전해질의 성능평가
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .05
Revisitation of the structure zone model of sputter-deposited thin films
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .11
DC/RF 마그네트론 스퍼터링법을 이용한 TiO2/Ag/TiO2 하이브리드 다층박막의 적외선 반사 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2016 .11
폴리머 기판에 스퍼터법으로 경사 증착한 Cr박막의 특성
한국재료학회지
2015 .01
Pulsed DC Power Magnetron Sputter System을 사용한 Copper 박막 특성 조절
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2017 .05
Sputtering power dependent properties of Zn2SnO4 films
한국에너지학회 학술발표회
2022 .10
Development of High Entropy Alloy Film using Magnetron Sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .06
Deposition of IGZO thin film using DC and ICP at magnetron sputtering system
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .05
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