스퍼터링법으로 제작한 구배 분포층 전해질 박막의 박리 억제 연구

이종혁 ,  박정흠 ,  이호재 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

Sputtering 을 이용해 제작한 YSZ/GDC 전해질 층의 열적 안정성 향상을 통한 박막 내구성 개선

이종혁 ,  이호재 ,  박정흠 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .10

Investigation of the influence of Yttria-Stabilized Zirconia Electrolyte Properties on Thin Film SOFC by Adjusting the Sputtering Process Parameters

Y. J. Jang ,  S. H. Lee ,  S. W. Cha

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2021 .11

원자층 증착법으로 제작되는 고체산화물 연료전지용 박막 전해질을 위한 다공성 기판 지지형 니켈 박막 수소극의 스퍼터링

지상훈

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .05

스퍼터 공정을 이용한 LT-SOFC 제작 및 전기화학적 특성 분석

이영조 ,  장계은 ,  송동근 외 6명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2022 .07

Dependence of the Generation Behavior of Charged Nanoparticles and Ag Film Growth on Sputtering Power during DC Magnetron Sputtering

Gil Su Jang ,  Du Yun Kim ,  Nong-Moon Hwang

Electronic Materials Letters

2021 .01

Sputtering 방법으로 증착된 다이아몬드 상 탄소 박막의 특성

문혜수 ,  유현지 ,  박인규 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .05

Physical Properties of Sputter-deposited Al-C Thin Films

오인종 ,  손한솔 ,  최현주 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2022 .06

스퍼터링을 이용한 바나듐 합금 박막화에 관한 연구

윤용호 ,  정지훈

화학공학

2016 .01

Sputtering 방법에 의하여 증착된 Si₃N₄ 기체 투과 방지 박막의 특성

조계영 ,  이다은 ,  강보성 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .11

투명전도성 박막의 활용을 위한 스퍼터링 증착 기술과 전망

김상모 ,  김경환

전기전자재료학회논문지

2023 .03

EFFECT OF DC SPUTTERING POWER ON CO-SPUTTERED CERIA-BASED CERMET ANODE NANOSTRUCTURE FOR LOW TEMPERATURE SOLID OXIDE FUEL CELLS

Ji Hyun SO ,  Won Jong YU ,  Sanghoon LEE 외 4명

AFORE

2017 .11

Co-sputtering 기법을 통해 제작된 NiO-SDC 연료극을 이용한 다공성지지체 기반 저온형 박막 고체산화물 연료전지의 특성 평가

임용현 ,  김영범 ,  홍순욱 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .10

고밀도 박막 전해질 제작을 위한 다층 구조 음극기능층 제작

윤지성 ,  박정흠 ,  이호재 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .10

스퍼터링 장치의 전극 구성에 따른 박막 특성 분석

변진용 ,  허윤성

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .12

Optimal Deposition Pressure of Yttria-stabilized Zirconia (YSZ) Sputtering for Low-temperature Thin Film SOFC

Y. J. Kim ,  S. B. Ryu ,  S. W. Cha

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2021 .05

RF-diode Sputtering법으로 제작한 Co박막의 자기특성과 미세구조

한창석 ,  김상욱

한국재료학회지

2018 .01

스퍼터로 성장된 알루미늄 박막의 공정 변수와 박막 두께에 따른 물성

오일권 ,  윤창모 ,  장진욱 외 1명

한국재료학회지

2016 .01

스퍼터링 공정 조건이 산화 구리 박막 특성에 미치는 영향

조재유 ,  허재영

Current Photovoltaic Research

2017 .03

Co-sputtering 기법을 통해 증착된 NiO/SDC 고체산화물 연료전지 연료극의 특성평가

임용현 ,  김영범 ,  박준식

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .12