Sputtering 방법에 의하여 증착된 Si₃N₄ 기체 투과 방지 박막의 특성

조계영 ,  이다은 ,  강보성 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .11

Physical Properties of Sputter-deposited Al-C Thin Films

오인종 ,  손한솔 ,  최현주 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2022 .06

Dependence of the Generation Behavior of Charged Nanoparticles and Ag Film Growth on Sputtering Power during DC Magnetron Sputtering

Gil Su Jang ,  Du Yun Kim ,  Nong-Moon Hwang

Electronic Materials Letters

2021 .01

RF Sputtering 방법으로 증착된 배향막용 SiO₂ 박막의 특성

박인규 ,  유현지 ,  문혜수 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .05

SiO₂를 이용하여 Sputtering 방법에 의하여 증착된 SiON 박막의 특성

이호택 ,  이학훈 ,  안지섭 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .11

스퍼터링으로 증착한 Fe-N 박막의 구조 및 자성 특성에 관한 연구

권아람 ,  김연주 ,  한동원 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2017 .11

BaNb₂O₆:Eu³⁺ 박막의 특성에 증착 온도가 미치는 효과

강현식 ,  박성민 ,  조신호

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2015 .06

스퍼터링 장치의 전극 구성에 따른 박막 특성 분석

변진용 ,  허윤성

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .12

RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 증착된 CuS 박막의 구조적 및 광학적 특성에 대한 스퍼터링 전력의 영향

이상운 ,  신동혁 ,  손영국 외 2명

Current Photovoltaic Research

2020 .03

직류 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 은 박막에서의 산소 검출에 관한 연구

곽동열 ,  조승범 ,  강동찬 외 3명

비파괴검사학회지

2018 .10

동일 물질 타겟의 Co-sputtering 을 통해 제작한 고내구성 박막 전해질의 성능평가

이종혁 ,  이호재 ,  박정흠 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .05

스퍼터링법으로 증착된 초박형 Al 박막의 투명전극 적용성 연구

김대균 ,  최두호

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .06

Reactive DC Sputtering으로 증착한 Smart window용 TiO₂의 전기변색적 특성

김성한 ,  송풍근

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .11

증착 시간에 따른 Fe-N 박막의 구조 및 자성 특성에 관한 연구

한동원 ,  박원욱 ,  권아람

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2017 .05

원통형 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착한 티타늄 박막의 특성

성기웅

한국에너지학회 학술발표회

2016 .10

Pulsed DC Power Magnetron Sputter System을 사용한 Copper 박막 특성 조절

김도한 ,  이수정 ,  김태형 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2017 .05

DC/RF 마그네트론 스퍼터링법을 이용한 TiO₂/Ag/TiO₂ 하이브리드 다층박막의 적외선 반사 특성

김성한 ,  김서한 ,  송풍근

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2016 .11

투명전도성 박막의 활용을 위한 스퍼터링 증착 기술과 전망

김상모 ,  김경환

전기전자재료학회논문지

2023 .03

DC/RF 중첩형 반응성 스퍼터링을 이용하여 증착한 열변색 VO₂ 박막의 특성연구

송영하 ,  송풍근

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2022 .11

스퍼터로 성장된 알루미늄 박막의 공정 변수와 박막 두께에 따른 물성

오일권 ,  윤창모 ,  장진욱 외 1명

한국재료학회지

2016 .01