지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
등록된 정보가 없습니다.
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
증착율 변화에 따른 TIO 박막의 전기적, 광학적 특성 변화
열처리공학회지
2016 .01
Magnetron sputtering의 Plasma Duty Ratio에 따른 a-IGZO 산화물 반도체 특성 분석
대한전기학회 학술대회 논문집
2020 .07
RF 파워 변화에 따른 IGZO 박막의 구조적, 광학적, 전기적 특성
전기전자재료학회논문지
2015 .01
TiO<sub>2</sub> 완충층이 IGZO/TiO<sub>2</sub> 이중층 박막의 전기적, 광학적 성질에 미치는 영향
열처리공학회지
2015 .01
기판온도에 따른 IGZO 박막의 구조적 및 전기적 특성
반도체디스플레이기술학회지
2016 .01
Pulsed DC Power Magnetron Sputter System을 사용한 Copper 박막 특성 조절
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2017 .05
Effect of Post-Deposition Annealing on the Structural, Optical and Electrical Properties of IGZO Films
Electronic Materials Letters
2015 .01
Pulsed DC 마그네트론 스퍼터링으로 제조된 다층 광학박막의 특성
한국표면공학회지
2019 .08
A Study on the standardize the characteristic evaluation of DC magnetron sputtered silver coatings for engineering purposes
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .11
Effect of a Cu Buffer Layer on the Structural, Optical, and Electrical Properties of IGZO/Cu bi-layered Films
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2016 .01
Development of High Entropy Alloy Film using Magnetron Sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .06
RF magnetron sputtering으로 증착한 IGZO 박막의 RF power에 따른 구조적, 광학적 및 전기적 특성 연구
반도체디스플레이기술학회지
2016 .01
DC/RF 마그네트론 스퍼터링법을 이용한 TiO2/Ag/TiO2 하이브리드 다층박막의 적외선 반사 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2016 .11
IGZO박막 증착 공정에서 플라즈마 방출광 모니터링 및 플라즈마 균일도 제어
반도체디스플레이기술학회지
2016 .01
DC Magnetron Sputter Plasma 균일도 향상을 위한 자석배열 최적화
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2021 .12
Real-time monitoring for detecting an abnormal arc discharge in DC magnetron sputter using OES
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2020 .10
증착 온도 및 수소 유량에 따른 IGZO 박막의 구조적 및 전기적 특성
반도체디스플레이기술학회지
2016 .01
디스플레이용 DC Magnetron Sputter에서 플라즈마 균일도 향상을 위한 기판전극 형상 설계
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2021 .12
스퍼터링 장치의 전극 구성에 따른 박막 특성 분석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
Dependence of the Generation Behavior of Charged Nanoparticles and Ag Film Growth on Sputtering Power during DC Magnetron Sputtering
Electronic Materials Letters
2021 .01
0