기판온도에 따른 IGZO 박막의 구조적 및 전기적 특성

이민규; 이규만

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자료유형: 학술저널

저자정보: 이민규 (한국기술교육대학교 신소재공학과) 이규만 (한국기술교육대학교 신소재공학과)

저널정보: 한국반도체디스플레이기술학회 반도체디스플레이기술학회지 반도체디스플레이기술학회지 제15권 제1호

발행연도: 2016.1

수록면: 1 - 5 (5page)

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In this study, we have investigated the effect of the substrate temperature on the characteristics of IGZO thin films for the TCO(transparent conducting oxide). For this purpose, IGZO thin films were deposited by RF magnetron sputtering at various substrate temperature (room temperature ${\sim}400^{\circ}C$). IGZO thin films deposited at room temperature show amorphous structure, whereas IGZO thin films deposited at $250^{\circ}C$ or more show crystalline structure having an (222) preferential orientation. The electrical resistivity of IGZO film increased with increasing temperature. The change of electrical resistivity with increasing temperature was mainly interpreted in terms of the charge carrier concentration rather than the charge carrier mobility. The electrical resistivity of the amorphous-IGZO films deposited at R.T. was lower than that of the crystalline-IGZO thin films deposited at $300^{\circ}C$. The transmittance of the IGZO films deposited at $300^{\circ}C$ was decreased deposited with hydrogen gas.

#IGZO thin film #RF-magnetron sputtering #substrate temperature

참고문헌 (9)

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K. Ishibashi / 1992 / Mass spectrometric ion analysis in the sputtering of oxide targets / Journal of Vacuum Science & Technology A. 10:1718

K. Tominaga / 1996 / ITO films prepared by facing target sputtering system / Thin Solid Films 281-282:194

Y. Hoshi / 2003 / ITO films deposited by facing target sputtering / Thin Solid Films 445:245

N. Taga / 1998 / Deposition of Heteroepitaxial In2O3 Thin Films by Molecular Beam Epitaxy / Jpn. J. Appl. Phys 37:6524

C. Nunes de Carvalho / 2000 / Effect of substrate temperature on the surface structure, composition and morphology of indium–tin oxide films / Surface and Coatings Technology 124:70

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이 논문의 저자 정보

이민규

소속기관 한국기술교육대학교 신소재공학과

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 1 이용수 32

이규만

소속기관 한국기술교육대학교 신소재공학과

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

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