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소형 원자층 증착 장치
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
R&D용 소형 원자층 증착 시스템 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .12
원자적층법(Atomic Layer Deposition) 증착 조건에 따른 ZnO 박막의 특성 변화 확인
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .10
저온 ALD/MLD 를 이용한 유기-무기 하이브리드 기체 투과 방지막 특성 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
Atomic Layer Deposition (ALD) 및 Molecular Layer Deposition (MLD) 하이브리드 공정을 활용한 Al-doped ZnO (AZO)/Alucone 다층박막의 인장거동의 평가
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .11
R2R 기반 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
원자층 박막 증착법을 이용한 리튬 박막 제작
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
Effect of Deposition Temperature on Mechanical Properties of Freestanding ALD Al₂O₃ Thin Films
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .05
공간 분할형 상압 원자층 증착 시스템 개발
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2017 .04
상압 기반의 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2016 .12
The Properties of ZrO2 Film Deposition by ALD at Low Temperature
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2017 .10
ALD/MLD 하이브리드 공정을 이용한 ZnO/Zincone 복합 박막 전극의 전기적/기계적 신뢰성 평가
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .06
Multi-functional layer coating on nanoparticles via atomic-layer-deposition
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .11
Surface Chemistry Modification for Developing Atomic Layer Deposition Process for the 2D Material and Thin Film Deposition on 2D Materials
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .11
Graphene Oxide 막의 염 제거율 및 안정성 증대를 위한 원자층증착법(Atomic Layer Deposition) 적용 및 평가
대한환경공학회 학술발표논문집
2018 .11
Atomic Layer Deposition 방법을 이용한 Zinc Oxide Hybrid 박막의 기계적 물성 향상
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
기능성 박막 코팅용 소형 원자층 증착 장비
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .05
유량 변화에 따른 원자층 증착 장비 내부 유동특성 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2019 .11
Formation of Anti-reflection structure grown by atomic layer deposition
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2017 .05
원자층 증착법을 이용한 5nm 이하의 나노채널 제작
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .05
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