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한국전자파학회 한국전자파학회논문지 한국전자파학회논문지 제13권 제10호
발행연도
2002.12
수록면
1,048 - 1,053 (6page)

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본 논문에서는 2 GHz 대역의 격자형 및 평형 구조를 가지는 박막공진 여파기를 설계, 제작하고 분석하였다. 단위공진자의 압전물질은 AIN를 사용하였고, 전극도체로는 백금을 사용하였으며, 하부도체와 기판사이에 공기층이 있는 구조로 제작되었다. 제작된 여파기들은 크기가 작고 낮은 삽입손실과 격자형의 경우 약 15 dB, 평형구조의 경우 약 30 dB 정도의 선택도를 가진다. 격자형 및 평형 구조는 사다리형 구조와 같이 실리콘 기판위에 제작되었으며, 사다리형 구조에 비해 넓은 대역폭을 가지며 평형구조의 경우 이외의 튜닝과정 없이 RF 여파기로 사용될 수 있다.

목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. 박막공진기의 구조 및 제작
Ⅲ. 박막공진기의 격자형 및 평형 구조
Ⅳ. 측정 및 결과
Ⅴ. 결론
참고문헌

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