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대한전자공학회 전자공학회논문지-SD 전자공학회논문지 SD편 제39권 제12호
발행연도
2002.12
수록면
8 - 15 (8page)

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분극처리 없이 제작한 lanthanum-modified lead titanate (PLT) 박막의 초전특성에 대한 변조 주파수 의존성을 dynamic method 를 이용하여 조사하였다. La 10mol% 첨가된 Pb_(₁-x)La_(x)Ti_(₁-x)₄O₃(x=0.1) (PLT(10)) 박막을 Pt/TiO_x/SiO₂/Si 기판위에 acetate 계 precursor 을 이용한 sol-gel 법으로 제작하였다. 제작된 PLT(10) 박막은 비교적 우수한 유전특성을 보였다. 초전계수 (p) 는 주파수 의존성이 없이 6.6×10^(-9 )C/㎠·K 을 나타내었다. 이를 이용하여 구한 전압감도와 비검출능을 위한 재료평가지수는 각각 1.03×10^(-11)C·cm/J 과 1.46×10^(-9)C·cm/J 로 나타났다. 제작된 PLT(10) 박막 초전형 적외선 센서는 주파수 8 Hz 에서 5.15V/W 의 전압감도 (Rv) 을 가지며, 잡음등가전력 (NEP) 과 비검출능 (D^*) 은 동일한 주파수 100Hz 에서 각각 9.93×10-8W/Hz1/2와 1.81×10^6cm·Hz^(1/2)/W 의 최소값과 최대값을 나타내었다. 이와 같은 특성들은 PLT(10) 박막이 초전형 적외선 센서의 감지물질로 매우 적합함을 나타낸 것이다.

목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. 이론적 배경
Ⅲ. 실험 방법
Ⅳ. 결과 및 논의
Ⅴ. 결론
참고문헌

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