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대한기계학회 대한기계학회 논문집 A권 대한기계학회논문집 A권 제27권 제11호
발행연도
2003.11
수록면
1,840 - 1,848 (9page)

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This paper presents the structural analysis and optimum design of a vertical micro-gyroscope with decoupled 2 degrees of freedom (DOF), driven by electrostatic force. Simplified beam models were presented to derive the structural stiffness of the driving spring of the U shape and the sensing spring of E shape. A finite element analysis (FEA) was performed to validate each derivation. A total mass and a polar mass moment of inertia were also obtained and used in calculating the resonance frequency at each mode of the 2 DOF. The resonance frequencies of the total system were calculated using the proposed models and it has been found that they were in excellent agreement with those of the FEA. Finally, the developed analysis program was then linked to an optimum design module, and an optimum design of the micro-gyroscope was successfully performed.

목차

Abstract

1.서론

2.작동원리 및 구조

3.자이로스코프의 2 자유도 모델링

4.자이로스코프의 기계적인 강성

5.전체 시스템의 공진 주파수

6.감지판의 정전용량 변화

7.검증

8.최적설계 및 결과

9.결론

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