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이용수
Abstract
1. 서론
2. 초정밀 위치 제어 메커니즘
3. 이중 서보를 위한 제어기 설계
4. PQ 설계법(PQ Method)
5. 제어기의 설계 및 안정성
6. 오버슛을 줄이기 위한 필터 설계
7. 결론
후기
참고문헌
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초정밀 위치 제어를 위한 이중 서보 메커니즘의 설계 및 제어
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한국반도체장비학회지
2003 .01
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2019 .10
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