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저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2003년 춘계학술대회논문집
발행연도
2003.4
수록면
1,309 - 1,314 (6page)

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The high precision positioning mechanism is used in various industrial fields. It is used in semiconductor
manufacturing line, test instrument, Bioengineering, and MEMS and so on. This paper presents a positioning
mechanism with dual servo system. Dual servo system consists of a coarse stage and a fine motion stage. The
course stage is driven by VCM and the actuator of fine stage is the PZT. The purposes of dual servo system
are stability, higher bandwidth, and robustness. Lead compensator is applied to this control system, and is
designed by PQ method. Designed compensator can improve property of positioning mechanism.

목차

Abstract

1. 서론

2. 초정밀 위치 제어 메커니즘

3. 이중 서보를 위한 제어기 설계

4. PQ 설계법(PQ Method)

5. 제어기의 설계 및 안정성

6. 오버슛을 줄이기 위한 필터 설계

7. 결론

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