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저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2003년 추계학술대회논문집
발행연도
2003.11
수록면
308 - 313 (6page)

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Thermal mass flow meters (TMFMs) are most widely used for measuring mass flow rates in the
semiconductor industry. A TMFM should have a short response time in order to measure the time-varying
flow rate rapidly and accurately. Therefore it is important to study transient heat transfer phenomena in the
sensor tube of a TMFM that is the most critical part in the TMFM. In the present work, a simple numerical
model for transient heat transfer phenomena of the sensor tube of a TMFM is presented. Numerical solutions
for the tube and fluid temperatures in a transient state are obtained using the proposed model and compared
with experimental results to validate the proposed model. Based on numerical solutions, heat transfer
mechanism in a transient state in the sensor tube is explained. Finally, a correlation for predicting the response
time of a sensor tube is presented. The correlation is verified by experimental results.

목차

Abstract

1.서론

2.수학적 모델

3.실험 장치 및 실험 방법

4.결과 및 토의

5.결론

후기

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