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이용수
1. 서론
2. 연구 방법
3. 결과 및 고찰
참고문헌
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
CO₂ 클러스터 세정을 이용한 오염입자 제거에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
KSTAR 제1벽 세정을 위한 방전세정계 설계
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
반도체 세정 공정용 가스 클러스터 장비의 클러스터 발생 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
반도체 및 디스플레이 세정 공정용 CO₂ 클러스터 장비의 클러스터 발생 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
반도체 세정 공정용 가스 클러스터 장치 내 발생 클러스터 크기 분포에 관한 수치해석적 예측
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
RF / DC 방전을 이용한 고 진공용SUS 용기세정에 관한 연구
Applied Science and Convergence Technology
2001 .10
건식세정기술의 세정효율 평가방법구축에 대한 연구
한국대기환경학회 학술대회논문집
2007 .10
벙지기술(가스)
한국대기환경학회 학술대회논문집
2002 .04
On - line FT - IR monitoring을 통한 Si₃N₄ 챔버 세정 후 배출된 PFC 가스에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
C₄F8 / O₂ / (N - based additives)를 이용한 ICP - type의 remote plasma silicon nitride PECVD chamber 세정 시 발생되는 global warming gas 저감에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
강설에 의한 대기 중 입자의 세정 효과 연구
대기
2002 .04
기상인자의 변화에 의한 PM10 및 NO₂의 세정 및 분산영향의 정량적 기여도 추정
한국대기환경학회 학술대회논문집
2012 .05
강수에 의한 주요 대기오염물질의 세정제거효율에 관한 연구 ( A Study on Wash-out Removal Efficiency of Major Air Pollutants by Precipitation )
한국대기환경학회 학술대회논문집
2000 .11
C₄F8O를 이용한 PECVD plasma 세정 공정 중 지구 온난화 gas 방출에 대한 첨가 gas의 효과
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .07
강수 및 대기오염물질 빈도분포에 따른 세정효과
한국기상학회 학술대회 논문집
2013 .10
가스터빈 유입공기 정화용 에어 필터 여재 국산화 개발 기초 성능실험 ( Development and Test of Gas Turbine Intake Air Filter Media )
한국대기환경학회 학술대회논문집
2000 .11
태양전지 자기세정 코팅을 위한 스퍼터링되어진 TiO₂ 박막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
Remote Plasma를 이용한 실리콘 산화막에 대한 건식세정 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
고온 고압 집진을 위한 역세정 유동장의 특성에 관한 연구
한국대기환경학회지(국문)
2003 .02
강수강도와 지속시간에 따른 주요 대기오염물질의 세정효과
한국기상학회 학술대회 논문집
2014 .04
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