c - C₄F8O를 이용한 Si₃N₄ CVD 챔버 세정 시 배출된 PFCs에 관한 연구

김기준 ,  오창현 ,  김지황 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .07

Study on FT-IR characteristics for simultaneous monitoring of ambient CO₂, CH₄, N₂O

권재형 ,  이정순 ,  문동민 외 2명

한국분석과학회 학술대회

2009 .11

T-IR 분광법을 이용한 Si 전구체 실시간 모니터링

전기문 ,  신재수 ,  윤주영 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

진공시스템을 적용한 FT-IR에서의 가스상 HF 분석법 개선

나예슬 ,  이선영 ,  이상호

한국분석과학회 학술대회

2020 .06

FT-IR Spectroscopy에 의한 섬유습식공정의 품질관리

최은경

한국분석과학회 학술대회

2016 .05

Passive open-path FT-IR spectrometer를 사용한 원거리 화재 연소 가스 정량 분석

조남욱 ,  조원보 ,  김효진

분석과학

2013 .04

Fundamental study of combustion plastics by FT-NIR / FT-IR spectrometer

조원보 ,  이소연 ,  조남욱 외 1명

한국분석과학회 학술대회

2016 .11

CO₂ 클러스터 세정을 이용한 오염입자 제거에 관한 연구

최후미 ,  조유진 ,  이종우 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

Real-time UV-cure monitoring of acrylate polymer by FT-IR

박재흥 ,  남궁현

한국분석과학회 학술대회

2016 .05

KSTAR 제1벽 세정을 위한 방전세정계 설계

정승호 ,  인상렬

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08

원자력시설 PFC 제염 시 발생하는 PFC 폐액을 재사용하기 위한 여과장치 개발

김계남 ,  정철진 ,  정종헌

한국대기환경학회 학술대회논문집

2007 .05

Gas-MS를 이용한 PFCs 분석법 개발 ( Development on analytical method for PFCs by Gas-MS )

박종숙 ,  김진석 ,  이진홍

한국대기환경학회 학술대회논문집

1999 .05

FT-IR 분광법을 이용한 초산필름의 열화 특성 연구

유경숙 ,  신용민 ,  조은옥 외 2명

한국분석과학회 학술대회

2013 .05

PFCs 분해시 발생되는 입자상 물질의 특성

최창용 ,  김종범 ,  류재용

한국대기환경학회 학술대회논문집

2013 .08

국내 점토광물의 분광학적 특성 분석을 위한 FT-IR Microscope 활용

정은지 ,  권순기 ,  김대영 외 4명

대한지질학회 학술대회

2015 .10

Determination of Microplastics in Cosmetics by microscope-FT-IR Spectroscopy

Jaehak Jung ,  Eui-Sung Choo ,  Seok-Ki Lee 외 1명

한국분석과학회 학술대회

2019 .11

반도체 세정 공정용 가스 클러스터 장비의 클러스터 발생 특성 분석

최후미 ,  김호중 ,  윤덕주 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

원격 측정용 개방 경로형 FT-IR spectrometer를 사용하여 플라스틱 재료의 유해 가스 정량 분석에 관한 연구

조남욱 ,  조원보 ,  김효진

분석과학

2012 .08

C₄F8을 Feed Gas로 사용한 Silicon Nitride CVD 챔버의 Remote Plasma Cleaning 시 배출 가스에 관한 연구

오창현 ,  김기준 ,  김지황 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02